
أنظمة القياس MEGA ®MeGA
تحليلات الطين والتحليلات الكيميائية المتقدمة لأشباه الموصلات والتصنيع عالي التقنية

مزايا MEGA SA200
مزايا MEGA SA200
- تحليل الجسيمات في الوقت الحقيقي يمنع فقدان المحصول المكلف من التلوث الدقيق
- تحليل المخاليط عالية التركيز عن طريق التخفيف المرحلي (أحادي أو مزدوج)
- تحسين التحكم في العملية بمعدلات خطأ المصادفة المنخفضة
- محمول وقابل للتكوين للنشر على مستوى الأداة أو على مستوى النظام
- انخفاض تكلفة الملكية عبر أدوات متعددة أو خطوط إنتاج متعددة

ميزات عربة القياس MEGA Metrology Cart
ميزات عربة القياس MEGA Metrology Cart
- كشف حجم الجسيمات من 0.2 ميكرومتر إلى 2.0 ميكرومتر
- مسارات انزلاق قياس مستقلة مزدوجة للتحليل المتوازي
- تخفيف اختياري أحادي أو ثنائي المرحلة مع ضبط الأس الهيدروجيني المدمج
- تكوينات متعددة لأجهزة الاستشعار بناءً على متطلبات التطبيق
- متوافق مع كل من التحليل المضمن وتحليل العينة المضمنة والالتقاط
- خيارات الشبكة المحلية اللاسلكية أو خيارات إخراج البيانات التسلسلية
- تشتمل ميزات السلامة على عدادات تدفق مدخل/مخرج ونظام تشابك العجلات
- واجهة IPC اختيارية للتكامل مع نظام التحكم في أنظمة التحكم في أنظمة التشغيل الآلي أو نظام التحكم في الأدوات

مزايا عربة القياس MEGA
مزايا عربة القياس MEGA
- مراقبة حجم الجسيمات في الوقت الحقيقي لمنع فقدان المحصول من التلوث الدقيق
- كشف دقيق قائم على الليزر مع خطأ منخفض في المصادفة من أجل تحكم أكثر إحكامًا في العملية
- يدعم تحليل الطين المركز عن طريق التخفيف أحادي أو ثنائي المرحلة
- محمول وقابل للتكوين من أجل التكامل من جانب الأداة أو المختبر أو التكامل المضمن
- حل فعال من حيث التكلفة للبيئات متعددة الأدوات أو بيئات التطوير

ميزات MEGA SA100
ميزات MEGA SA100
- مراقبة التركيز الكمي عبر الإنترنت
- ما يصل إلى 6 مسارات انزلاق (نفس الكيمياء) لتحليل متعدد النقاط لأنظمة متعددة
- وصفات قابلة للبرمجة لأخذ العينات والتطهير وتجديد المكونات مقايسات محددة وأجهزة استشعار كهروكيميائية لقياس دقيق ومستهدف
- تدفق/تنقية أوتوماتيكية مدمجة مع ثنائي أو بيروكسيد مع تجاوز يدوي
- أخذ عينات مضغوطة من مصادر الأدوات
- مقصورات كيميائية وكهربائية منفصلة
- إيقاف تشغيل الماكينة في حالات الطوارئ (E.M.O.)، وإنذارات صوتية/مرئية، وكشف التسرب
- الامتثال لمعايير SEMI S2 والتحقق من عادم النظام

مزايا MEGA SA100
مزايا MEGA SA100
- زيادة إنتاجية المنتج من خلال الحفاظ بدقة على التركيب الكيميائي للمعالجة
- مراقبة التدهور الكيميائي عبر دورة حياة المنتج بالكامل
- الاكتشاف السريع للاختلافات في العملية وتصحيحها
- تقليل مخاطر فقدان الدُفعات من خلال رؤية كيميائية في الوقت الفعلي
- يضمن توافر النظام بنسبة 99.9% وقت تشغيل موثوق به
- التحكم مباشرةً من نظام المزج (لا يلزم وجود PLC خارجي)

تطبيقات MEGA SA100
تطبيقات MEGA SA100
- تصنيع أشباه الموصلات
- مراقبة طين ما بعد التصنيع بعد المعالجة المركزية
- تصنيع الطاقة الشمسية/الضوئية
- عمليات معالجة معالجة معالجة معالجة المواد الصلبة المنخفضة
- إنتاج الصمام الثنائي الباعث للضوء وكربيد السيليكون (SiC)
- الفضاء الجوي والترسيب الكهروكيميائي (الترسيب الكهروكيميائي)
- سلسلة SA100 لتصنيع أجهزة إنترنت الأشياء - معايرة الملاط عالية الدقة والتحليلات الكيميائية

ميزات سلسلة MEGA® SA200
ميزات سلسلة MEGA® SA200
- اكتشاف حجم الجسيمات من 0.2 ميكرومتر إلى 20 ميكرومتر (حسب التكوين)
- تجميع وحدات حجم الجسيمات القابلة للتعديل للبيانات الحبيبية
- يدعم تخفيفًا يصل إلى 1,000,000:1 (ثنائي المرحلة)
- خيارات مستشعرات متعددة وتكوينات داخل السلسلة للتحقق
- مراقبة أداء الدُفعات طويلة المدى وأداء المرشح
- يقبل عينات الالتقاط أو أخذ العينات المستمر
- التحكم اليدوي في التخفيف والتدفق مع خيارات DI أو الخيارات الكيميائية
- مصنوعة من بلاستيك PFA المقاوم للمواد الكيميائية ومقاييس تدفق 316 SS
- حاويات اختيارية متوافقة مع FM 4910 أو حاويات متوافقة مع WPP

مزايا MEGA SA200
مزايا MEGA SA200
- تحليل الجسيمات في الوقت الحقيقي يمنع فقدان المحصول المكلف من التلوث الدقيق
- تحليل المخاليط عالية التركيز عن طريق التخفيف المرحلي (أحادي أو مزدوج)
- تحسين التحكم في العملية بمعدلات خطأ المصادفة المنخفضة
- محمول وقابل للتكوين للنشر على مستوى الأداة أو على مستوى النظام
- انخفاض تكلفة الملكية عبر أدوات متعددة أو خطوط إنتاج متعددة

ميزات عربة القياس MEGA Metrology Cart
ميزات عربة القياس MEGA Metrology Cart
- كشف حجم الجسيمات من 0.2 ميكرومتر إلى 2.0 ميكرومتر
- مسارات انزلاق قياس مستقلة مزدوجة للتحليل المتوازي
- تخفيف اختياري أحادي أو ثنائي المرحلة مع ضبط الأس الهيدروجيني المدمج
- تكوينات متعددة لأجهزة الاستشعار بناءً على متطلبات التطبيق
- متوافق مع كل من التحليل المضمن وتحليل العينة المضمنة والالتقاط
- خيارات الشبكة المحلية اللاسلكية أو خيارات إخراج البيانات التسلسلية
- تشتمل ميزات السلامة على عدادات تدفق مدخل/مخرج ونظام تشابك العجلات
- واجهة IPC اختيارية للتكامل مع نظام التحكم في أنظمة التحكم في أنظمة التشغيل الآلي أو نظام التحكم في الأدوات

مزايا عربة القياس MEGA
مزايا عربة القياس MEGA
- مراقبة حجم الجسيمات في الوقت الحقيقي لمنع فقدان المحصول من التلوث الدقيق
- كشف دقيق قائم على الليزر مع خطأ منخفض في المصادفة من أجل تحكم أكثر إحكامًا في العملية
- يدعم تحليل الطين المركز عن طريق التخفيف أحادي أو ثنائي المرحلة
- محمول وقابل للتكوين من أجل التكامل من جانب الأداة أو المختبر أو التكامل المضمن
- حل فعال من حيث التكلفة للبيئات متعددة الأدوات أو بيئات التطوير

ميزات MEGA SA100
ميزات MEGA SA100
- مراقبة التركيز الكمي عبر الإنترنت
- ما يصل إلى 6 مسارات انزلاق (نفس الكيمياء) لتحليل متعدد النقاط لأنظمة متعددة
- وصفات قابلة للبرمجة لأخذ العينات والتطهير وتجديد المكونات مقايسات محددة وأجهزة استشعار كهروكيميائية لقياس دقيق ومستهدف
- تدفق/تنقية أوتوماتيكية مدمجة مع ثنائي أو بيروكسيد مع تجاوز يدوي
- أخذ عينات مضغوطة من مصادر الأدوات
- مقصورات كيميائية وكهربائية منفصلة
- إيقاف تشغيل الماكينة في حالات الطوارئ (E.M.O.)، وإنذارات صوتية/مرئية، وكشف التسرب
- الامتثال لمعايير SEMI S2 والتحقق من عادم النظام

مزايا MEGA SA100
مزايا MEGA SA100
- زيادة إنتاجية المنتج من خلال الحفاظ بدقة على التركيب الكيميائي للمعالجة
- مراقبة التدهور الكيميائي عبر دورة حياة المنتج بالكامل
- الاكتشاف السريع للاختلافات في العملية وتصحيحها
- تقليل مخاطر فقدان الدُفعات من خلال رؤية كيميائية في الوقت الفعلي
- يضمن توافر النظام بنسبة 99.9% وقت تشغيل موثوق به
- التحكم مباشرةً من نظام المزج (لا يلزم وجود PLC خارجي)

تطبيقات MEGA SA100
تطبيقات MEGA SA100
- تصنيع أشباه الموصلات
- مراقبة طين ما بعد التصنيع بعد المعالجة المركزية
- تصنيع الطاقة الشمسية/الضوئية
- عمليات معالجة معالجة معالجة معالجة المواد الصلبة المنخفضة
- إنتاج الصمام الثنائي الباعث للضوء وكربيد السيليكون (SiC)
- الفضاء الجوي والترسيب الكهروكيميائي (الترسيب الكهروكيميائي)
- سلسلة SA100 لتصنيع أجهزة إنترنت الأشياء - معايرة الملاط عالية الدقة والتحليلات الكيميائية

ميزات سلسلة MEGA® SA200
ميزات سلسلة MEGA® SA200
- اكتشاف حجم الجسيمات من 0.2 ميكرومتر إلى 20 ميكرومتر (حسب التكوين)
- تجميع وحدات حجم الجسيمات القابلة للتعديل للبيانات الحبيبية
- يدعم تخفيفًا يصل إلى 1,000,000:1 (ثنائي المرحلة)
- خيارات مستشعرات متعددة وتكوينات داخل السلسلة للتحقق
- مراقبة أداء الدُفعات طويلة المدى وأداء المرشح
- يقبل عينات الالتقاط أو أخذ العينات المستمر
- التحكم اليدوي في التخفيف والتدفق مع خيارات DI أو الخيارات الكيميائية
- مصنوعة من بلاستيك PFA المقاوم للمواد الكيميائية ومقاييس تدفق 316 SS
- حاويات اختيارية متوافقة مع FM 4910 أو حاويات متوافقة مع WPP

مزايا MEGA SA200
مزايا MEGA SA200
- تحليل الجسيمات في الوقت الحقيقي يمنع فقدان المحصول المكلف من التلوث الدقيق
- تحليل المخاليط عالية التركيز عن طريق التخفيف المرحلي (أحادي أو مزدوج)
- تحسين التحكم في العملية بمعدلات خطأ المصادفة المنخفضة
- محمول وقابل للتكوين للنشر على مستوى الأداة أو على مستوى النظام
- انخفاض تكلفة الملكية عبر أدوات متعددة أو خطوط إنتاج متعددة

ميزات عربة القياس MEGA Metrology Cart
ميزات عربة القياس MEGA Metrology Cart
- كشف حجم الجسيمات من 0.2 ميكرومتر إلى 2.0 ميكرومتر
- مسارات انزلاق قياس مستقلة مزدوجة للتحليل المتوازي
- تخفيف اختياري أحادي أو ثنائي المرحلة مع ضبط الأس الهيدروجيني المدمج
- تكوينات متعددة لأجهزة الاستشعار بناءً على متطلبات التطبيق
- متوافق مع كل من التحليل المضمن وتحليل العينة المضمنة والالتقاط
- خيارات الشبكة المحلية اللاسلكية أو خيارات إخراج البيانات التسلسلية
- تشتمل ميزات السلامة على عدادات تدفق مدخل/مخرج ونظام تشابك العجلات
- واجهة IPC اختيارية للتكامل مع نظام التحكم في أنظمة التحكم في أنظمة التشغيل الآلي أو نظام التحكم في الأدوات

مزايا عربة القياس MEGA
مزايا عربة القياس MEGA
- مراقبة حجم الجسيمات في الوقت الحقيقي لمنع فقدان المحصول من التلوث الدقيق
- كشف دقيق قائم على الليزر مع خطأ منخفض في المصادفة من أجل تحكم أكثر إحكامًا في العملية
- يدعم تحليل الطين المركز عن طريق التخفيف أحادي أو ثنائي المرحلة
- محمول وقابل للتكوين من أجل التكامل من جانب الأداة أو المختبر أو التكامل المضمن
- حل فعال من حيث التكلفة للبيئات متعددة الأدوات أو بيئات التطوير