Optimize your slurry distribution with MEGA®
أنظمة توزيع MEGA® هي حلول متقدمة وقابلة للتطوير لتوصيل الملاط المخلوط في تطبيقات أشباه الموصلات وCMP. توفر توزيع دقيق ومتناسق للطين عبر مجموعة من أدوات التسطيح الميكانيكي الكيميائي (CMP). تم تصميم أنظمة توزيع MEGA® Distribution Systems لتحقيق الدقة والمرونة والتكامل في بيئات معالجة الطين في CMP - سواءً لدعم التركيبات الجديدة أو تحديث المنشآت القائمة.
دالقنوات
دالقنوات
صُممت MEGA® SD1000 خصيصًا لتوزيع الملاط الغرواني والملاط المدخن على خطوط الصقل منخفضة ومتوسطة الحجم. كل قناة توزيع مزودة بـ
- خزان توزيع
- مضخة الملاط
- وحدة ترشيح
- مكونات الدائرة الحلقية العالمية
تم تركيب SD1000 على مستوى المصنع، وتم تحسينها لتوصيل الملاط إلى أجهزة الصقل في دائرة نصف قطرها 100 قدم، مع الحفاظ على ضغط نقطة الاستخدام (POU) بين 20-30 رطل لكل بوصة مربعة لتدفق ملاط مستقر وفعال.
