مصممة للتطبيقات القديمة وتطبيقات الجيل التالي
تم تصميم هذه الأنظمة المصممة لتلبية المتطلبات الصعبة لتطبيقات CMP لتصنيع أشباه الموصلات وغيرها من العمليات الكيميائية عالية النقاء، وتدعم هذه الأنظمة مجموعة واسعة من نسب المزج ومعدلات التركيب - مما يجعلها مثالية لكل من التطبيقات القديمة والجيل التالي.
صُممت أنظمة المزج MEGA® المصممة لتحقيق الموثوقية التامة وقابلية التكرار، وتوفر أنظمة المزج MEGA® التحكم الآلي والمراقبة الذكية وسعات الخزانات القابلة للتخصيص لتلبية المتطلبات المحددة لكل بيئة معالجة.