مصممة للتطبيقات القديمة وتطبيقات الجيل التالي
تم تصميم هذه الأنظمة المصممة لتلبية المتطلبات الصعبة لتطبيقات CMP لتصنيع أشباه الموصلات وغيرها من العمليات الكيميائية عالية النقاء، وتدعم هذه الأنظمة مجموعة واسعة من نسب المزج ومعدلات التركيب - مما يجعلها مثالية لكل من التطبيقات القديمة والجيل التالي.
صُممت أنظمة المزج MEGA® المصممة لتحقيق الموثوقية التامة وقابلية التكرار، وتوفر أنظمة المزج MEGA® التحكم الآلي والمراقبة الذكية وسعات الخزانات القابلة للتخصيص لتلبية المتطلبات المحددة لكل بيئة معالجة.
هندسة غنية بالميزات
هندسة غنية بالميزات
- دعم المزج الدقيق لمجموعة واسعة من النسب والمواد الكيميائية
- إجمالي سعات الخلط من 30 إلى 500 لتر، حسب تكوين النظام
- تدفق وتطهير وتصريف آلي للمواد الخام ودوائر الخلط لتحقيق أقصى قدر من النظافة
- جهاز ترطيب على شكل فقاقيع يوفر غطاءً من النيتروجين (N₂) فوق خزان الخلط لحماية النقاء
- منافذ أخذ العينات يدويًا للتحقق من جودة الخلط
تعظيم فوائد الأداء إلى أقصى حد
تعظيم فوائد الأداء إلى أقصى حد
- مراقبة العادم من أجل السلامة والتحكم في العملية
- صمام توهين يدوي للتحكم في الضغط الخلفي في خط إرجاع حلقة النقل
- إمكانيات العزل اليدوي، والتجاوز، والتصريف، وإزالة الغازات لتحسين التحكم في الفلتر
- حساسات سعوية للأسطوانة الفارغة لإمداد المواد دون انقطاع
- محول ضغط لمراقبة ضغط إمداد المواد الخام في الوقت الفعلي
التطبيقات متعددة المرافق
التطبيقات متعددة المرافق
- تصنيع رقاقة أشباه الموصلات
- التخطيط الميكانيكي الكيميائي الميكانيكي (CMP)
- تصنيع الخلايا الكهروضوئية والإلكترونيات الدقيقة
- الطلاء الدقيق والبحث والتطوير في المواد المتقدمة
هندسة غنية بالميزات
هندسة غنية بالميزات
- دعم المزج الدقيق لمجموعة واسعة من النسب والمواد الكيميائية
- إجمالي سعات الخلط من 30 إلى 500 لتر، حسب تكوين النظام
- تدفق وتطهير وتصريف آلي للمواد الخام ودوائر الخلط لتحقيق أقصى قدر من النظافة
- جهاز ترطيب على شكل فقاقيع يوفر غطاءً من النيتروجين (N₂) فوق خزان الخلط لحماية النقاء
- منافذ أخذ العينات يدويًا للتحقق من جودة الخلط