具腐蝕性的排氣管道

具腐蝕性的排氣管道

腐蝕性及有害氣體對受控環境中的通風系統提出極高要求,隨時間推移將導致材料劣化、可靠性降低,以及維護需求增加。PermaShield™ 透過一套經全面工程設計的模組化風管系統來應對此挑戰,該系統結合了不鏽鋼的結構強度,以及 Exentec 專利氟聚合物隔離塗層的先進耐腐蝕性能。 我們為嚴苛環境提供耐用且可靠的解決方案。
廢氣處理系統

廢氣處理系統

在沉積、蝕刻和擴散等受控環境製造製程中,會產生有害氣體,這些氣體需要高效且可靠的處理方案。 Exentec 透過先進的「使用點(POU)」氣體處理系統來應對這些挑戰,這些系統專為高效能、高可靠性及低維護需求而設計。這些系統不僅能實現高處理效率,更能提升設備運轉時間、改善製程穩定性,並增強操作安全性。
請聯絡我們的排氣與污染控制團隊

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適用於製程排氣:

麥克·巴蘭斯基

資深業務開發經理

電話: +1.802.655.8800

電子郵件:cleanroom.dryroom@exentec.net

有關氣體減排服務:



傑森·梅德赫斯特 (Jason Medhurst)



銷售總監



電話:+1 408.573.0701



電子郵件:orders-cp@exentec.net