氣體消減 | 產品 │ Exentec

Exentec 是全球主要半導體公司的首選供應商，為沉積、蝕刻和擴散製程工具提供使用點 (POU) 氣體消減解決方案。

我們的系統是目前最有效率且最可靠的 Epi 洗滌器。我們結合了進氣裝置技術、以 PLC 為基礎的控制箱和自動化進氣活塞，製造出低維護的 Epi 消減系統。這樣的性能使正常運行時間更長、製程更穩定、安全性更高。我們的系統結合了 2 個噴灑室和 1 個填料柱，產生業界最高的效率。

如需瞭解我們的氣體消減解決方案，請聯絡我們：+1 408.573.0701

此業界首創的 Wet-Burn-Wet 濕式消減系統，將兩種濕式消減技術 (Wet + Burn/Wet) 結合為單一平台，可在燃燒器之前有效去除水溶性氣體。

Exentec 的 Cyclone 濕式消減系統是我們的旗艦型號，包含所有先進功能，可支援零系統相關製程工具停機時間。

我們最新的大容量、高效率濕式消減系統 Cyclone XL 採用粗噴式、高流量噴嘴，可覆蓋第一個洗滌室，清除大量雜質。其策略性位置可提高效率、減少用水量並消除泡沫。

無塵室

Exentec 為高科技產業提供整廠輸出的無塵室技術。我們開發、生產及維護無塵室產品以及超潔淨受控氣氛的生產環境。

媒體供應

Exentec 提供超高純度介質供應系統，作為針對關鍵製造環境之整合式端到端解決方案的一部分。作為單一負責夥伴，Exentec 承擔從工程與系統設計，到安裝、調試及投入運作的全程責任。

廢氣排放與污染控制

Exentec 提供整合式排氣與使用點減排系統，作為針對關鍵製造環境之端到端解決方案的一部分。我們確保能安全、合規且可靠地捕集並處理來自沉積、蝕刻及擴散製程的排放物。

安裝服務

為高科技客戶安裝複雜的製程管道、機械和電力系統

模組化解決方案

我們的 OSM 和智慧型模組化產品解決方案為資本設備和工具安裝帶來製程公用設施，節省寶貴的時間和費用，同時提高品質、安全性和可維修性。

技術設施管理

Exentec 提供的不僅僅是設施運營。我們提供智慧型、可擴充的解決方案，優先處理您最關鍵的成功因素。