Systemy podawania i dozowania substancji chemicznych

Przegląd projektu

Oferta rozwiązań firmy Exentec obejmuje systemy mieszania substancji chemicznych, sieci dystrybucyjne, systemy rozładunku, urządzenia do transferu substancji chemicznych, moduły zasilające, systemy mieszania zawiesin oraz technologie wytwarzania substancji chemicznych na miejscu. Zaawansowana automatyzacja, wielostopniowa filtracja, monitorowanie w obiegu zamkniętym oraz zintegrowane systemy sterowania pomagają utrzymać spójność procesów, niezawodność działania oraz czystość chemiczną w całym procesie produkcji półprzewodników. Platforma została zaprojektowana tak, aby sprostać zarówno obecnym wymaganiom produkcyjnym, jak i przyszłym planom rozbudowy zakładów produkcyjnych.

Wyzwanie

Współcześni producenci półprzewodników potrzebują wysoce niezawodnej infrastruktury zaopatrzenia w chemikalia, zdolnej do dostarczania kwasów o ultra wysokiej czystości, rozpuszczalników, zasad, zawiesin CMP oraz chemikaliów specjalistycznych w całym zakładzie produkcyjnym. Utrzymanie czystości chemicznej, spójności procesów, czasu sprawności i bezpieczeństwa ma kluczowe znaczenie dla wydajności produkcji płytek i wyników produkcyjnych. Wraz z rozwojem zakładów produkcyjnych operatorzy potrzebują również rozwiązań, które optymalizują wykorzystanie powierzchni, ograniczają przestoje, wspierają cyfryzację oraz umożliwiają przyszłą rozbudowę bez zwiększania złożoności operacyjnej.

Rozwiązanie firmy Exentec

Firma Exentec opracowała zintegrowane systemy dostarczania i dozowania chemikaliów o ultra wysokiej czystości, obejmujące cały łańcuch dostaw chemikaliów – od rozładunku i mieszania materiałów luzem, poprzez dystrybucję, aż po dozowanie w miejscu użytkowania. Rozwiązanie to obejmuje zaawansowane moduły transferu i dozowania substancji chemicznych (CTDM), zautomatyzowane systemy sterowania, integrację z systemem SCADA, sterowanie procesem w pętli zamkniętej, strategie redundancji oraz skalowalne architektury zaprojektowane z myślą o środowiskach produkcji wielkoseryjnej. Funkcje oparte na cyfrowym bliźniaku i sztucznej inteligencji dodatkowo wspierają optymalizację, konserwację predykcyjną oraz analizę operacyjną.

Wyniki

Zintegrowana platforma poprawia sterowanie procesami poprzez utrzymywanie stabilnego stężenia, ciśnienia, przepływu i czystości chemikaliów w całym łańcuchu dostaw. Wbudowana redundancja i automatyzacja pomagają zwiększyć czas sprawności produkcji, a zaawansowane technologie filtracji i recyrkulacji poprawiają jakość i spójność chemikaliów. Zautomatyzowana obsługa ogranicza konieczność interwencji operatora i poprawia bezpieczeństwo pracy, natomiast skalowalne architektury i funkcje cyfrowe pomagają obniżyć całkowity koszt posiadania oraz wspierają długoterminowy rozwój produkcji.