Zaawansowana infrastruktura badawcza w dziedzinie półprzewodników

Przegląd projektu

Projekt wspierał jedną z najbardziej zaawansowanych na świecie inicjatyw badawczych w dziedzinie półprzewodników i obejmował infrastrukturę niezbędną do zastosowania technologii litografii EUV o wysokim współczynniku apertury (High-NA). Firma Exentec dostarczyła systemy gazowe, systemy chemiczne, odpływy oraz mechaniczną infrastrukturę procesową w ramach wysoce wyspecjalizowanego środowiska pomieszczeń czystych. Szczegółowe planowanie VDC oraz analiza wykonalności umożliwiły pomyślną realizację projektu na terenie złożonego, aktywnego kampusu badawczego, który przechodził znaczną rozbudowę.

Wyzwanie

Wiodąca organizacja zajmująca się badaniami nad półprzewodnikami wymagała zainstalowania wysoce wyspecjalizowanej infrastruktury technicznej i mechanicznej na potrzeby ośrodka badawczego nowej generacji. Projekt wymagał integracji złożonych systemów gazowych, chemicznych, odprowadzania ścieków oraz infrastruktury technicznej w ramach działającego kampusu badawczego, przy jednoczesnym utrzymaniu bieżącej działalności oraz koordynacji działań z wieloma interesariuszami, wykonawcami i równoległymi projektami rozbudowy.

Rozwiązanie firmy Exentec

Firma Exentec wykorzystała zaawansowane technologie wirtualnego projektowania i budowy (VDC), koordynację działań z interesariuszami oraz specjalistyczną wiedzę z zakresu półprzewodników, aby zrealizować część projektu dotyczącą instalacji mechanicznych. Pracując w czynnym środowisku badawczym zajmującym się półprzewodnikami, zespół ściśle współpracował z kierownictwem projektu oraz wieloma branżami, aby bezpiecznie i efektywnie zainstalować systemy mechaniczne, gazowe, chemiczne i użytkowe, spełniając jednocześnie wysokie wymagania techniczne i harmonogramowe.

Wyniki

Firma Exentec z powodzeniem zrealizowała kluczową infrastrukturę wspierającą zaawansowane badania w dziedzinie półprzewodników oraz możliwości litografii nowej generacji. Dzięki szczegółowemu planowaniu, wiedzy technicznej i koordynacji między różnymi dziedzinami projekt był zgodny z wymaganiami obiektu, wspierając jednocześnie jeden z najważniejszych programów innowacji w dziedzinie półprzewodników w Stanach Zjednoczonych. Ukończona infrastruktura stanowi podstawę dla przyszłego rozwoju procesów półprzewodnikowych i działań badawczych.