Sistemi di erogazione e distribuzione di sostanze chimiche

Panoramica del progetto

Il portafoglio di soluzioni di Exentec comprende sistemi di miscelazione di sostanze chimiche, reti di distribuzione, sistemi di scarico, unità di trasferimento di sostanze chimiche, moduli di alimentazione, sistemi di miscelazione di sospensioni e tecnologie di generazione in loco di sostanze chimiche. L'automazione avanzata, la filtrazione multistadio, il monitoraggio a circuito chiuso e i controlli integrati contribuiscono a garantire l'uniformità dei processi, l'affidabilità operativa e la purezza dei prodotti chimici in tutte le operazioni di produzione di semiconduttori. La piattaforma è progettata per supportare sia le attuali esigenze di produzione sia le future iniziative di espansione degli stabilimenti.

La sfida

I moderni produttori di semiconduttori necessitano di un’infrastruttura di approvvigionamento chimico altamente affidabile, in grado di fornire acidi, solventi, basi, sospensioni CMP e prodotti chimici speciali di purezza estremamente elevata in tutto lo stabilimento di produzione. Il mantenimento della purezza chimica, dell’uniformità di processo, dei tempi di attività e della sicurezza è fondamentale per la resa dei wafer e le prestazioni produttive. Con l’espansione degli stabilimenti di produzione, gli operatori necessitano inoltre di soluzioni che ottimizzino lo spazio a disposizione, riducano i tempi di inattività, supportino la digitalizzazione e consentano espansioni future senza aumentare la complessità operativa.

La soluzione di Exentec

Exentec ha sviluppato sistemi integrati di trasporto e dosaggio di sostanze chimiche ad altissima purezza che coprono l’intera catena di approvvigionamento chimico, dallo scarico di grandi quantità e dalla miscelazione fino alla distribuzione e al dosaggio nel punto di utilizzo. La soluzione incorpora moduli avanzati di trasferimento e dosaggio delle sostanze chimiche (CTDM), controlli automatizzati, integrazione SCADA, controllo di processo a circuito chiuso, strategie di ridondanza e architetture scalabili progettate per ambienti di produzione ad alto volume. Il digital twin e le funzionalità basate sull’intelligenza artificiale supportano ulteriormente l’ottimizzazione, la manutenzione predittiva e l’analisi operativa.

I risultati

La piattaforma integrata migliora il controllo di processo mantenendo stabili la concentrazione, la pressione, la portata e la purezza delle sostanze chimiche lungo tutta la catena di approvvigionamento. La ridondanza e l’automazione integrate contribuiscono ad aumentare i tempi di attività produttiva, mentre le tecnologie avanzate di filtrazione e ricircolo migliorano la qualità e l’uniformità delle sostanze chimiche. La gestione automatizzata riduce l’intervento dell’operatore e migliora i livelli di sicurezza, mentre le architetture scalabili e le funzionalità digitali contribuiscono a ridurre il costo totale di proprietà e sostengono la crescita produttiva a lungo termine.