MEGA® 分配系統

使用 MEGA® 優化您的漿料配送

MEGA® 分配系統是先進、可擴充的解決方案，適用於半導體與 CMP 應用中的混合研磨液輸送。MEGA® 輸送系統能在各種化學機械平坦化 (CMP) 工具中提供精確且一致的研磨液輸送。 MEGA® 輸送系統能在 CMP 研磨液處理環境中提供精確度、彈性及整合性 - 不論是支援新安裝或改造現有晶圓廠。