Exentec 專精於半導體產業的超高純度化學品和氣體系統。我們的產品組合包括可廣泛應用於水性化學品和 CMP 漿料的混合與輸送設備。

此外，我們還提供所需的現場支援服務、控制、整合和技術專業知識，以滿足嚴格的半導體製程控制需求。

我們可靠的系統提供

  • 先進的計量驅動閉環製程控制
  • 自動化的化學品和漿料品質控制
  • 靈活、可擴展且精確的輸送和混合系統
  • 透過混合濃度和壓力控制增加製程控制
  • 與 SCADA 無縫整合，並提供完整的 I&C 支援
  • 最佳佔地面積
  • 最長的正常運轉時間
高純度化學系統

高純度化學系統

Exentec 提供設備、現場支援服務和技術專業知識，以滿足半導體製造和其他高科技產業對高純度流體輸送、化學品混合和最先進的 CMP 漿料系統的各種應用需求。

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化學品卸載

化學品卸載

提供從主儲槽到生產分配槽的化學品連續輸送，並提供系統和/或元件備援，以最大化生產正常運作時間。

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化學品分銷

化學品分銷

我們的化學品配送系統可改善製程、優化樓面空間、縮短停機時間並延長產品壽命，從而降低整體擁有成本。

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線上混合

線上混合

Exentec 專利的按需線上化學混配及化學溶液供應技術，可根據最終用戶或使用點的流量變化進行按需動態混配，同時保持精確的混配精度。

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化學生成

化學生成

透過 Exentec 整合式NH4OH現場化學品生成技術，半導體晶圓廠可大幅降低整體化學品供應成本、提高品質、加強對供應鏈中斷的應變能力，並改善生態永續性。

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CMP 泥漿混合與輸送

CMP 泥漿混合與輸送

移除昂貴的勞動密集離線計量和手動製程調整。Exentec 已成功開發出板上控制技術，可在混合和分配作業中對客戶特定的半導體 CMP 漿料解決方案進行閉環控制。

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無塵室

Exentec 為高科技產業提供整廠輸出的無塵室技術與無塵室產品

Exentec 為高科技產業提供整廠輸出的無塵室技術。我們開發、生產及維護無塵室產品以及超潔淨受控氣氛的生產環境。

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媒體供應

Exentec 提供超高純度介質供應系統，作為針對關鍵製造環境之整合式端到端解決方案的一部分。作為單一負責夥伴，Exentec 承擔從工程與系統設計，到安裝、調試及投入運作的全程責任。

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廢氣排放與污染控制

Exentec 提供整合式排氣與使用點減排系統，作為針對關鍵製造環境之端到端解決方案的一部分。我們確保能安全、合規且可靠地捕集並處理來自沉積、蝕刻及擴散製程的排放物。

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安裝服務

為高科技客戶安裝複雜的製程管道、機械和電力系統

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模組化解決方案

我們的 OSM 和智慧型模組化產品解決方案為資本設備和工具安裝帶來製程公用設施，節省寶貴的時間和費用，同時提高品質、安全性和可維修性。

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技術設施管理

Exentec 提供的不僅僅是設施運營。我們提供智慧型、可擴充的解決方案，優先處理您最關鍵的成功因素

Exentec 提供的不僅僅是設施運營。我們提供智慧型、可擴充的解決方案，優先處理您最關鍵的成功因素。

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