Levering van chemische systemen met hoge zuiverheidsgraad voor een slimme halfgeleiderfabriek

Projectoverzicht

Het project zorgde ervoor dat alle systemen op tijd werden opgeleverd en ondersteunde de tijdige inbedrijfstelling van de eerste cleanroom-productiemachines in een nieuwe halfgeleiderfabriek in Dresden. Door de succesvolle uitvoering van een van de belangrijkste halfgeleiderapparatuurprogramma’s in zijn geschiedenis heeft Exentec aangetoond dat het in staat is om grootschalige, versnelde projecten op te leveren en tegelijkertijd de succesvolle opschaling van geavanceerde productieactiviteiten te ondersteunen

De uitdaging

Als onderdeel van een investering van meerdere miljarden euro’s in een nieuwe halfgeleiderfabriek in Dresden had de klant van Exentec behoefte aan de levering van 40 chemiesystemen met hoge zuiverheidsgraad voor de distributie van zuren, bijtende stoffen en oplosmiddelen. Het project vereiste een aanzienlijke uitbreiding van de engineering-, productie- en projectmiddelen om aan een strak versneld programma te kunnen voldoen, waarbij alle systemen binnen een leveringstermijn van 20 maanden moesten worden geleverd.

De oplossing van Exentec

Exentec heeft 40 chemielijnen met hoge zuiverheidsgraad voor de nieuwe fabriek ontwikkeld, ontworpen, geassembleerd en in bedrijf gesteld. Om aan de programma-eisen te voldoen, breidde het team de lokale productie- en projectmiddelen in Dresden uit, waarbij gebruik werd gemaakt van regionale productiecapaciteiten en tegelijkertijd een nauwe coördinatie tussen engineering-, fabricage- en inbedrijfstellingsactiviteiten werd gehandhaafd.

De resultaten

Dit project was het grootste apparatuurproject in de geschiedenis van Exentec Duitsland. De opdracht omvatte de levering van 40 chemische systemen voor hoogzuivere toepassingen, ondersteund door de fabricage van 60 opslag- en dagtanks, 120 kasten en 300 klepverdeelkasten (VMB's) binnen een productiecyclus van negen maanden. De oplossing omvatte tevens parallel werkende centrifugaalpompen om de bedrijfszekerheid te verbeteren en een constante systeemdruk te handhaven.