Systemen voor het aanvoeren en doseren van chemicaliën

Projectoverzicht

Het oplossingenportfolio van Exentec omvat systemen voor het mengen van chemicaliën, distributienetwerken, lossystemen, units voor het overpompen van chemicaliën, toevoermodules, systemen voor het mengen van slurry en technologieën voor het ter plaatse genereren van chemicaliën. Geavanceerde automatisering, meertrapsfiltratie, monitoring in een gesloten lus en geïntegreerde besturing dragen bij aan het handhaven van procesconsistentie, operationele betrouwbaarheid en chemische zuiverheid in alle stadia van de halfgeleiderproductie. Het platform is ontworpen om zowel aan de huidige productie-eisen als aan toekomstige uitbreidingsinitiatieven van fabrieken te voldoen.

De uitdaging

Moderne halfgeleiderfabrikanten hebben behoefte aan een uiterst betrouwbare infrastructuur voor de chemische toevoer die in staat is om ultrazuivere zuren, oplosmiddelen, basen, CMP-slurries en speciale chemicaliën door de gehele fabricagefaciliteit te leveren. Het handhaven van de chemische zuiverheid, procesconsistentie, uptime en veiligheid is van cruciaal belang voor de waferopbrengst en de productieprestaties. Naarmate productiefaciliteiten opschalen, hebben exploitanten ook behoefte aan oplossingen die de vloeroppervlakte optimaliseren, stilstandtijd verminderen, digitalisering ondersteunen en toekomstige uitbreiding mogelijk maken zonder de operationele complexiteit te vergroten.

De oplossing van Exentec

Exentec heeft geïntegreerde systemen voor de aanvoer en dosering van uiterst zuivere chemicaliën ontwikkeld die de volledige chemische toeleveringsketen bestrijken, van het lossen en mengen van bulkgoederen tot distributie en dosering op de plaats van gebruik. De oplossing omvat geavanceerde Chemical Transfer & Dispense Modules (CTDM), geautomatiseerde besturingen, SCADA-integratie, procesregeling in een gesloten kringloop, redundantiestrategieën en schaalbare architecturen die zijn ontworpen voor productieomgevingen met grote volumes. Digital twin- en AI-mogelijkheden ondersteunen bovendien optimalisatie, voorspellend onderhoud en operationele analyse.

De resultaten

Het geïntegreerde platform verbetert de procesregeling door gedurende de gehele toeleveringsketen een stabiele chemische concentratie, druk, doorstroming en zuiverheid te handhaven. Ingebouwde redundantie en automatisering dragen bij aan een hogere productietijd, terwijl geavanceerde filtratie- en recirculatietechnologieën de kwaliteit en consistentie van de chemicaliën verbeteren. Geautomatiseerde verwerking vermindert de noodzaak van menselijke tussenkomst en verbetert de veiligheidsprestaties, terwijl schaalbare architecturen en digitale mogelijkheden de totale eigendomskosten helpen verlagen en de productiegroei op de lange termijn ondersteunen.