Geavanceerde onderzoeksinfrastructuur voor halfgeleiders

Projectoverzicht

Het project ondersteunde een van 's werelds meest geavanceerde onderzoeksinitiatieven op het gebied van halfgeleiders en omvatte de infrastructuur die nodig is voor High-NA EUV-lithografietechnologie. Exentec leverde bulkgassystemen, chemische systemen, afvoerleidingen en mechanische procesinfrastructuur binnen een zeer gespecialiseerde cleanroomomgeving. Dankzij een uitgebreide VDC-planning en bouwbaarheidanalyse kon het project succesvol worden uitgevoerd binnen een complexe, actieve onderzoekscampus die een aanzienlijke uitbreiding onderging.

De uitdaging

Een toonaangevende organisatie voor halfgeleideronderzoek had behoefte aan de installatie van zeer gespecialiseerde procesvoorzieningen en mechanische infrastructuur ter ondersteuning van een onderzoeksfaciliteit voor halfgeleiders van de volgende generatie. Het project vereiste de integratie van complexe systemen voor bulkgas, chemicaliën, afvoer en procesvoorzieningen binnen een actieve onderzoekscampus, waarbij de lopende activiteiten moesten worden gehandhaafd en er moest worden gecoördineerd met meerdere belanghebbenden, aannemers en gelijktijdige uitbreidingsprojecten.

De oplossing van Exentec

Exentec maakte gebruik van geavanceerde Virtual Design and Construction (VDC), coördinatie met belanghebbenden en gespecialiseerde expertise op het gebied van halfgeleiders om het mechanische procesgedeelte van het project te realiseren. Het team werkte binnen een operationele onderzoeksomgeving voor halfgeleiders en coördineerde nauw met de projectleiding en diverse vakgebieden om de mechanische proces-, bulkgas-, chemische en nutsvoorzieningssystemen veilig en efficiënt te installeren, terwijl aan de strenge technische en planningseisen werd voldaan.

De resultaten

Exentec heeft met succes cruciale infrastructuur opgeleverd ter ondersteuning van geavanceerd halfgeleideronderzoek en lithografiemogelijkheden van de volgende generatie. Door middel van gedetailleerde planning, technische expertise en multidisciplinaire coördinatie bleef het project in lijn met de facilitaire eisen en ondersteunde het tegelijkertijd een van de belangrijkste innovatieprogramma’s op het gebied van halfgeleiders in de Verenigde Staten. De voltooide infrastructuur vormt de basis voor toekomstige ontwikkelingen van halfgeleiderprocessen en onderzoeksactiviteiten.