我们的可配置化学品输送和分配模块 (CTDM) 专为超纯化学品输送、精确计量和安全分配到生产工具而设计，是半导体制造、洁净室环境和其他高纯度工艺应用的理想之选。
服务的行业
- 半导体制造
- 光伏 (PV) 和太阳能电池板生产
- LED 和平板显示器制造
- 制药和生物技术加工
- 先进材料研发
高纯度应用中的化学品输送、转移或分配
CTDM 系统支持各种化学应用和工艺环境。该系统设计用于将化学品从散装容器、圆桶或周转箱直接输送到工艺工具，或通过 200L 集成日用储罐进行输送。通过按需供应和恒压操作，该系统可确保准确、高效和安全的化学品输送。
该设备具有低压循环功能，可保持化学品纯度并降低污染风险，同时自动化逻辑可确保对储罐液位、供应时间和流路路径进行精确控制。我们的设备可由聚丙烯或聚氯乙烯等普通塑料材料或 304 不锈钢制成，与溶剂兼容。
系统一览：突出功能
- 可针对任何湿化学工艺或应用进行配置
- 与超纯酸、碱、溶剂和特种化学品兼容
- 带有集成延迟计时器的自动液位感应和加料逻辑
- 可定制的手动或自动阀门布局
- 润湿材料选项：聚丙烯、聚氯乙烯或 304 不锈钢，与化学品兼容
- 带循环回路的集成日用储罐（200 升），用于纯度控制
- 支持 I 类 2 分区环境，带净化电气外壳
选项
- 用于操作员控制的定制 HMI 触摸屏界面
- 每个化学引擎有 2 至 6 个过滤器可供选择，以提高纯度
- 支持 1 至 4 个化学品供应源（周转箱、桶或散装罐）
- 可选择 Trebor 120 或 Trebor 255 高纯度化学品泵
- 经 FM 4910 认证的材料，与洁净室兼容
- 通过 SEMI S2/S8、UL 和 CE 认证
为什么选择 Exentec 化学传输系统？
Exentec 将先进的化学品处理技术与人体工程学设计和定制配置相结合，以满足高科技制造业不断发展的需求。我们的系统旨在提高工艺安全性，最大限度地提高产量，并确保材料兼容性--为高纯度化学品分配应用提供可靠的性能。来自 https://www.kinetics.net/en/equipment/chemical-distribution-systems
KINETICS 在全球安装了 1,500 多套工艺介质系统，是化学品供应系统解决方案的领先供应商。
我们的模块化化学计量解决方案涵盖了广泛的工艺应用。由于模块是可配置的，因此适用于从新安装、更换到系统升级的所有需求。
我们将功能强大、生产效率高的配料技术与符合人体工程学的服务功能以及多种流量和压力选项相结合，为各种应用提供量身定制的化学配料设备。