Infrastructure de recherche de pointe dans le domaine des semi-conducteurs

Présentation du projet

Ce projet a soutenu l’une des initiatives de recherche sur les semi-conducteurs les plus avancées au monde et comprenait les infrastructures nécessaires à la technologie de lithographie EUV à haute ouverture numérique (High-NA). Exentec a fourni des systèmes de gaz en vrac, des systèmes chimiques, des systèmes de drainage et l’infrastructure mécanique de traitement au sein d’une salle blanche hautement spécialisée. Une planification approfondie du VDC et une analyse détaillée de la constructibilité ont permis une exécution réussie au sein d’un campus de recherche complexe et dynamique, en pleine expansion.

Le défi

Un organisme de recherche de premier plan dans le domaine des semi-conducteurs avait besoin de la mise en place d’infrastructures mécaniques et de services techniques hautement spécialisés pour soutenir un centre de recherche de nouvelle génération dédié aux semi-conducteurs. Le projet nécessitait l’intégration de systèmes complexes de distribution de gaz en vrac, de produits chimiques, de drainage et de services techniques au sein d’un campus de recherche en activité, tout en assurant la continuité des opérations et en assurant la coordination avec de multiples parties prenantes, des entrepreneurs et des projets d’extension menés en parallèle.

La solution d'Exentec

Exentec a mis à profit des techniques avancées de conception et de construction virtuelles (VDC), une coordination efficace des parties prenantes et une expertise spécialisée dans le domaine des semi-conducteurs pour mener à bien la partie mécanique des procédés du projet. Travaillant au sein d’un environnement de recherche sur les semi-conducteurs en activité, l’équipe a coordonné étroitement ses efforts avec la direction du projet et les différents corps de métier afin d’installer les systèmes mécaniques de procédés, de gaz en vrac, de produits chimiques et d’utilités de manière sûre et efficace, tout en respectant des exigences techniques et des délais rigoureux.

Les résultats

Exentec a mis en place avec succès une infrastructure essentielle au service de la recherche de pointe en semi-conducteurs et des capacités de lithographie de nouvelle génération. Grâce à une planification minutieuse, à une expertise technique et à une coordination multidisciplinaire, le projet a su s’aligner sur les exigences de l’installation tout en soutenant l’un des programmes d’innovation en semi-conducteurs les plus importants des États-Unis. L’infrastructure achevée constitue le socle des futures activités de recherche et de développement dans le domaine des procédés de fabrication de semi-conducteurs.