Nos outils intègrent du matériel de traitement, des logiciels de contrôle avancés et des robots automatisés pour fournir des solutions personnalisées, depuis les bancs manuels à processus unique jusqu'aux systèmes de manipulation de plaquettes entièrement automatisés.

Nous prenons en charge une large gamme de substrats et de matériaux :

Plaquettes (100 mm - 300 mm)
Matériaux semi-conducteurs III-V
Photomasques
Fixations en verre et en quartz
Collecteurs personnalisés et supports spéciaux

Nos ingénieurs peuvent également concevoir des effecteurs et des supports de substrat sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de processus et de manipulation.

Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération de l'IPA et séchage
Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
Bains à une ou plusieurs cassettes
Équipement de traitement configurable et évolutif.

Notre équipe a l'expérience d'un large éventail d'applications, notamment dans les domaines FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch et E-less Deposition. Nous disposons également d'agencements de bains humides standard pour de nombreuses applications telles que :

Gravure humide - Gravure au silicium (KOH), gravure au nitrure, gravure à l'oxyde tamponné, bande de photorésine et gravure à l'or/platine.
Décollage des métaux - configurations NMP et DMSO
Nettoyage des plaquettes - Prise en charge des bains HF, Piranha, SC1, SC2

Nos outils de traitement peuvent être configurés avec une gamme complète de systèmes d'assistance pour améliorer l'automatisation, la sécurité et la gestion des produits chimiques :

Systèmes de manipulation des produits chimiques
Chariots de produits chimiques pour la distribution, le retrait et le stockage
Bouteilles embarquées pour la collecte des déchets
Stations de relevage pour la neutralisation des déchets
Matériel d'optimisation des processus
Circulateurs à température contrôlée (WHRV)
Chauffage : jusqu'à 5115 BTU/hr
Refroidissement : jusqu'à 2550 BTU/hr
Bains à recirculation pour une température et un débit constants
Réservoirs en quartz pour la résistance aux produits chimiques
Rinceuses à vidange rapide (QDR)
Modes immersion, cascade et pulvérisation

Nos systèmes de préparation de surface sont évolutifs et prêts à être intégrés dans les salles blanches, les laboratoires de recherche et développement et les fabs à grand volume. Que vous travailliez avec des substrats standard ou des matériaux uniques, notre équipe peut vous fournir une plateforme prête à l'emploi adaptée à vos besoins.