Lieferung hochreiner chemischer Systeme für eine intelligente Halbleiterfabrik

Projektübersicht

Im Rahmen des Projekts wurden alle Systeme termingerecht ausgeliefert und die termingerechte Inbetriebnahme der ersten Reinraum-Fertigungsanlagen in einer neuen Halbleiterfabrik in Dresden unterstützt. Durch die erfolgreiche Umsetzung eines der bedeutendsten Halbleiterausrüstungsprogramme seiner Geschichte stellte Exentec seine Fähigkeit unter Beweis, groß angelegte, zügig durchgeführte Projekte zu realisieren und gleichzeitig den erfolgreichen Hochlauf fortschrittlicher Fertigungsprozesse zu unterstützen.

Die Herausforderung

Im Rahmen einer Investition in Höhe von mehreren Milliarden Euro in eine neue Halbleiterfabrik in Dresden benötigte der Kunde von Exentec die Lieferung von 40 hochreinen Chemiesystemen für die Verteilung von Säuren, Laugen und Lösungsmitteln. Das Projekt erforderte eine erhebliche Aufstockung der Ressourcen in den Bereichen Engineering, Fertigung und Projektmanagement, um den ehrgeizigen Zeitplan einzuhalten, da alle Systeme innerhalb eines Lieferzeitraums von 20 Monaten bereitgestellt werden mussten.

Die Lösung von Exentec

Exentec übernahm die technische Planung, Konstruktion, Montage und Inbetriebnahme von 40 hochreinen Chemielinien für die neue Anlage. Um die Zeitvorgaben einzuhalten, baute das Team die lokalen Produktions- und Projektressourcen in Dresden aus, nutzte dabei regionale Fertigungskapazitäten und sorgte gleichzeitig für eine enge Abstimmung zwischen den Bereichen Engineering, Fertigung und Inbetriebnahme.

Die Ergebnisse

Dieses Projekt war das größte Anlagenprojekt in der Geschichte von Exentec Deutschland. Der Auftragsumfang umfasste die Lieferung von 40 Hochreinheits-Chemiesystemen, ergänzt durch die Fertigung von 60 Lager- und Tagestanks, 120 Schränken und 300 Ventilverteilerkästen (VMBs) innerhalb eines neunmonatigen Produktionszyklus. Die Lösung umfasste zudem parallel betriebene Kreiselpumpen, um die Betriebssicherheit zu erhöhen und einen konstanten Systemdruck aufrechtzuerhalten.