Ausbauprogramm für Halbleiterfabriken

Projektübersicht

Das Projekt unterstützte eine der weltweit fortschrittlichsten Erweiterungen der Siliziumkarbid-Fertigung, einschließlich Prozess- und Spezialchemikaliensystemen, hygienischer Rohrleitungsinfrastruktur, Chemikaliendosiermodulen, VMBs und Dienstleistungen zur Installation großformatiger Werkzeuge. Exentec baute Fertigungskapazitäten außerhalb des Standorts auf, um die Programmumsetzung zu unterstützen, und mobilisierte gleichzeitig Spezialistenteams über mehrere Standorte hinweg, um den gleichzeitigen Bau und den Produktionsanlauf zu ermöglichen.

Die Herausforderung

Ein führender Halbleiterhersteller benötigte kritische Prozessinfrastruktur und Dienstleistungen zur Werkzeuginstallation zur Unterstützung des Ausbaus fortschrittlicher Produktionsanlagen für Siliziumkarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN) in Malaysia. Das Programm umfasste die Lieferung von Systemen für Massen- und Spezialchemikalien sowie umfangreiche Werkzeuginstallationsarbeiten – und das alles unter strengen Terminvorgaben bei gleichzeitiger Einhaltung der Ziele in Bezug auf Bau, Inbetriebnahme, Qualifizierung und Betriebsbereitschaft.

Die Lösung von Exentec

Exentec errichtete in der Nähe des Projektstandorts eine eigens dafür vorgesehene temporäre Fertigungsanlage zur Montage und Herstellung von Chemikaliendosiermodulen und Ventilverteilerkästen (VMBs), wodurch eine beschleunigte Lieferung der kritischen Prozessinfrastruktur ermöglicht wurde. Gleichzeitig unterstützten spezielle Teams für die Werkzeuginstallation den Produktionshochlauf in mehreren Fertigungsstätten und nutzten dabei spezifisches Fachwissen im Halbleiterbereich, eine proaktive Materialbeschaffung sowie erweiterte Schweißkapazitäten, um die Projektzeitpläne einzuhalten.

Die Ergebnisse

Exentec lieferte erfolgreich Systeme für Massen- und Spezialchemikalien, wodurch die Werkzeuginstallationsarbeiten früher im Projektverlauf beginnen konnten. Das Projekt erfüllte die Anforderungen hinsichtlich Bau, Inbetriebnahme, Qualifizierung und Betriebsbereitschaft und hielt dabei gleichzeitig die anspruchsvollen Zeit- und Budgetvorgaben ein. Die Werkzeuginstallationsarbeiten wurden gemäß den Produktionsanforderungen abgeschlossen, sodass die Meilensteine für die Anlagenqualifizierung und die Waferproduktion wie geplant voranschreiten konnten.