Systeme zur Zuführung und Dosierung von Chemikalien

Projektübersicht

Das Lösungsportfolio von Exentec umfasst Chemikalienmischsysteme, Verteilungsnetze, Entladesysteme, Chemikalientransfereinheiten, Versorgungsmodule, Slurry-Mischsysteme und Technologien zur Chemikalienerzeugung vor Ort. Fortschrittliche Automatisierung, mehrstufige Filtration, Überwachung im geschlossenen Regelkreis und integrierte Steuerungen tragen dazu bei, die Prozesskonsistenz, Betriebssicherheit und chemische Reinheit in der gesamten Halbleiterfertigung zu gewährleisten. Die Plattform ist so konzipiert, dass sie sowohl aktuelle Produktionsanforderungen als auch zukünftige Erweiterungsvorhaben von Fertigungsanlagen unterstützt.

Die Herausforderung

Moderne Halbleiterhersteller benötigen eine äußerst zuverlässige Infrastruktur zur Chemikalienversorgung, die in der Lage ist, hochreine Säuren, Lösungsmittel, Basen, CMP-Schlämme und Spezialchemikalien in der gesamten Fertigungsanlage bereitzustellen. Die Aufrechterhaltung der chemischen Reinheit, der Prozesskonsistenz, der Betriebsverfügbarkeit und der Sicherheit ist entscheidend für die Waferausbeute und die Produktionsleistung. Mit zunehmender Größe der Fertigungsanlagen benötigen Betreiber zudem Lösungen, die die Flächennutzung optimieren, Ausfallzeiten reduzieren, die Digitalisierung unterstützen und zukünftige Erweiterungen ermöglichen, ohne die betriebliche Komplexität zu erhöhen.

Die Lösung von Exentec

Exentec hat integrierte Systeme zur Zuführung und Dosierung hochreiner Chemikalien entwickelt, die die gesamte Chemikalienversorgungskette abdecken – vom Entladen und Mischen von Großmengen über die Verteilung bis hin zur Dosierung am Verwendungsort. Die Lösung umfasst fortschrittliche Chemikalientransfer- und -dosiermodule (CTDM), automatisierte Steuerungen, SCADA-Integration, Prozessregelung im geschlossenen Regelkreis, Redundanzstrategien sowie skalierbare Architekturen, die für Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz ausgelegt sind. Digital-Twin- und KI-gestützte Funktionen unterstützen zudem die Optimierung, vorausschauende Wartung und Betriebsanalyse.

Die Ergebnisse

Die integrierte Plattform verbessert die Prozesssteuerung, indem sie stabile Chemikalienkonzentrationen, Drücke, Durchflussmengen und Reinheitsgrade über die gesamte Lieferkette hinweg gewährleistet. Integrierte Redundanz und Automatisierung tragen zur Erhöhung der Produktionsverfügbarkeit bei, während fortschrittliche Filter- und Rückführungstechnologien die Qualität und Konsistenz der Chemikalien verbessern. Die automatisierte Handhabung reduziert Bedienereingriffe und verbessert die Sicherheitsleistung, während skalierbare Architekturen und digitale Funktionen dazu beitragen, die Gesamtbetriebskosten zu senken und das langfristige Wachstum der Produktion zu unterstützen.