Exentec ist auf ultrahochreine Chemikalien- und Gassysteme für die Halbleiterindustrie spezialisiert. Unser Portfolio umfasst Misch- und Förderanlagen für eine breite Palette von Anwendungen in wässrigen Chemikalien und CMP-Slurries.
Darüber hinaus bieten wir die erforderlichen Vor-Ort-Supportdienste, Steuerungen, Integration und technisches Fachwissen, um die strengen Anforderungen der Halbleiterprozesssteuerung zu erfüllen.
Unsere zuverlässigen Systeme bieten:
- Fortschrittliche messtechnisch gesteuerte Prozesssteuerung im geschlossenen Regelkreis
- Automatisierte Qualitätskontrolle von Chemikalien und Schlämmen
- Flexible, skalierbare und präzise Förder- und Mischsysteme
- Erhöhte Prozesskontrolle durch Steuerung der Mischungskonzentration und des Drucks
- Nahtlose Integration in SCADA mit vollständiger I&C-Unterstützung
- Optimale Stellfläche
- Maximale Betriebszeit
Hochreine chemische Systeme
Exentec bietet Ausrüstungen, Kundendienst und technisches Fachwissen, um die verschiedenen Anforderungen an die Zufuhr hochreiner Flüssigkeiten, das Mischen von Chemikalien und hochmoderne CMP-Slurry-Systeme für die Halbleiterherstellung und andere High-Tech-Industrien zu erfüllen.
Chemische Entladung
Kontinuierlicher Transfer von Chemikalien von den Haupttanks zu den Verteilertanks in der Produktion mit System- und/oder Komponentenredundanz zur Maximierung der Produktionsbetriebszeit.
Chemische Distribution
Unsere Systeme zur Verteilung von Chemikalien verbessern die Prozesse, optimieren den Platzbedarf, minimieren die Ausfallzeiten und verlängern die Produktlebensdauer, wodurch die Gesamtbetriebskosten gesenkt werden.
Inline-Blending
Die patentierte Technologie von Exentec zur bedarfsgerechten Inline-Mischung von Chemikalien und zur Versorgung mit chemischen Lösungen berücksichtigt bedarfsgerechte dynamische Änderungen der Durchflussmengen durch die Endverbraucher oder die Verwendungsstellen, während die Genauigkeit der Mischung beibehalten wird.
Chemische Erzeugung
Mit der integrierten NH4OH-Technologievon Exentec zur Erzeugung von Chemikalien vor Ort können Halbleiterfabriken ihre Gesamtkosten für die Chemikalienversorgung erheblich senken, die Qualität steigern, die Widerstandsfähigkeit gegen Störungen in der Lieferkette erhöhen und die ökologische Nachhaltigkeit verbessern.
CMP-Gülle-Mischung und -Lieferung
Beseitigen Sie teure, arbeitsintensive Offline-Messungen und manuelle Prozessanpassungen. Exentec hat erfolgreich eine Onboard-Steuerungstechnologie entwickelt, die eine Closed-Loop-Steuerung einer kundenspezifischen CMP-Slurry-Lösung für Halbleiter in Misch- und Verteilungsprozessen ermöglicht.
Reinraum
Exentec bietet schlüsselfertige Reinraumtechnologie und Reinraumprodukte für die High-Tech-Industrie
Exentec bietet schlüsselfertige Reinraumtechnologie für die High-Tech-Industrie. Wir entwickeln, produzieren und warten Reinraumprodukte und Produktionsumgebungen für ultrareine kontrollierte Atmosphären.
Medienversorgung
Exentec liefert Medienversorgungssysteme mit extrem hoher Reinheit als Teil integrierter End-to-End-Lösungen für kritische Produktionsumgebungen. Als alleiniger, verantwortlicher Partner übernimmt Exentec die Verantwortung vom Engineering und der Systemauslegung bis hin zur Installation, Inbetriebnahme und Betriebsbereitschaft.
Abgas- und Abgasreinigungstechnik
Exentec liefert integrierte Absaug- und punktuelle Abgasreinigungssysteme als Teil von Komplettlösungen für kritische Fertigungsumgebungen. Wir gewährleisten die sichere, vorschriftsmäßige und zuverlässige Absaugung und Aufbereitung von Prozessemissionen aus Abscheidungs-, Ätz- und Diffusionsprozessen.
Installationsdienste
Installation komplexer Prozessrohrleitungen, mechanischer und elektrischer Systeme für Hightech-Kunden
Modulare Lösungen
Unsere OSM- und intelligenten modularen Produktlösungen bringen Prozessversorgungseinrichtungen in Investitionsgüter- und Werkzeuginstallationen ein, was wertvolle Zeit und Kosten spart und gleichzeitig Qualität, Sicherheit und Wartungsfreundlichkeit verbessert.
Technisches Gebäudemanagement
Exentec bietet mehr als nur den Betrieb von Anlagen. Wir bieten intelligente, skalierbare Lösungen, die Ihre wichtigsten Erfolgsfaktoren in den Vordergrund stellen
Exentec bietet mehr als nur den Betrieb von Anlagen. Wir bieten intelligente, skalierbare Lösungen, die Ihre wichtigsten Erfolgsfaktoren in den Mittelpunkt stellen.