Exentec ist der bevorzugte Lieferant für große Halbleiterunternehmen auf der ganzen Welt und bietet Point-of-Use (POU)-Gasminderungslösungen für Abscheidungs-, Ätz- und Diffusionsprozesswerkzeuge.
Unsere Systeme gehören zu den effizientesten und zuverlässigsten Epi-Wäschern auf dem Markt. Wir kombinieren die Einlassgerätetechnologie mit einer SPS-basierten Steuerbox und einem automatischen Gaseinlasskolben, um ein wartungsarmes Epi-Reinigungssystem herzustellen. Diese Leistung führt zu einer höheren Betriebszeit, einer größeren Prozessstabilität und einer erhöhten Sicherheit. Unsere Systeme kombinieren 2 Sprühkammern und eine Füllkörperkolonne, um einen der höchsten Wirkungsgrade in der Branche zu erzielen.
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Umfassen
Dieses branchenweit erste Wet-Burn-Wet-Reinigungssystemkombiniert zwei Nassreinigungsverfahren (Wet + Burn/Wet) in einer einzigen Plattform, die eine effiziente Entfernung wasserlöslicher Gase vor dem Brenner ermöglicht.
Wirbelsturm
Das Exentec Cyclone Nassentstaubungssystem ist unser Flaggschiffmodell, das alle fortschrittlichen Funktionen enthält, die keine systembedingten Ausfallzeiten der Prozesswerkzeuge unterstützen.
Zyklon XL
Unser neuestes Nassreinigungssystem mit hoher Kapazität und Effizienz, der Cyclone XL, verfügt über eine Grobsprühdüse mit hohem Durchfluss, die die erste Waschkammer beschichtet und grobe Verunreinigungen beseitigt. Die strategische Positionierung erhöht die Effizienz, minimiert den Wasserverbrauch und eliminiert Schaum.
Reinraum
Exentec bietet schlüsselfertige Reinraumtechnologie und Reinraumprodukte für die High-Tech-Industrie
Exentec bietet schlüsselfertige Reinraumtechnologie für die High-Tech-Industrie. Wir entwickeln, produzieren und warten Reinraumprodukte und Produktionsumgebungen für ultrareine kontrollierte Atmosphären.
Medienversorgung
Exentec liefert Medienversorgungssysteme mit extrem hoher Reinheit als Teil integrierter End-to-End-Lösungen für kritische Produktionsumgebungen. Als alleiniger, verantwortlicher Partner übernimmt Exentec die Verantwortung vom Engineering und der Systemauslegung bis hin zur Installation, Inbetriebnahme und Betriebsbereitschaft.
Abgas- und Abgasreinigungstechnik
Exentec liefert integrierte Absaug- und punktuelle Abgasreinigungssysteme als Teil von Komplettlösungen für kritische Fertigungsumgebungen. Wir gewährleisten die sichere, vorschriftsmäßige und zuverlässige Absaugung und Aufbereitung von Prozessemissionen aus Abscheidungs-, Ätz- und Diffusionsprozessen.
Installationsdienste
Installation komplexer Prozessrohrleitungen, mechanischer und elektrischer Systeme für Hightech-Kunden
Modulare Lösungen
Unsere OSM- und intelligenten modularen Produktlösungen bringen Prozessversorgungseinrichtungen in Investitionsgüter- und Werkzeuginstallationen ein, was wertvolle Zeit und Kosten spart und gleichzeitig Qualität, Sicherheit und Wartungsfreundlichkeit verbessert.
Technisches Gebäudemanagement
Exentec bietet mehr als nur den Betrieb von Anlagen. Wir bieten intelligente, skalierbare Lösungen, die Ihre wichtigsten Erfolgsfaktoren in den Vordergrund stellen
Exentec bietet mehr als nur den Betrieb von Anlagen. Wir bieten intelligente, skalierbare Lösungen, die Ihre wichtigsten Erfolgsfaktoren in den Mittelpunkt stellen.