أشباه الموصلات
أنظمة توصيل وتوزيع المواد الكيميائية
أشباه الموصلات
أنظمة توصيل وتوزيع المواد الكيميائية
دعمت شركة «إكسينتيك» عملية تركيب وتشغيل 193 أداة اختبار متطورة داخل منشأة كبرى لإنتاج أشباه الموصلات في ماليزيا.
نظرة عامة على المشروع
تشمل محفظة حلول Exentec أنظمة خلط المواد الكيميائية، وشبكات التوزيع، وأنظمة التفريغ، ووحدات نقل المواد الكيميائية، ووحدات الإمداد، وأنظمة خلط الملاط، وتقنيات توليد المواد الكيميائية في الموقع. تساعد الأتمتة المتقدمة، والترشيح متعدد المراحل، والمراقبة ذات الحلقة المغلقة، وأنظمة التحكم المتكاملة في الحفاظ على اتساق العمليات، وموثوقية التشغيل، ونقاء المواد الكيميائية في جميع عمليات تصنيع أشباه الموصلات. وقد صُممت المنصة لدعم متطلبات الإنتاج الحالية ومبادرات التوسع المستقبلية في مصانع أشباه الموصلات.
التحدي
تحتاج شركات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة إلى بنية تحتية موثوقة للغاية لتوريد المواد الكيميائية، تكون قادرة على توفير الأحماض والمذيبات والقواعد وملاط CMP والمواد الكيميائية المتخصصة ذات النقاء الفائق في جميع أنحاء منشأة التصنيع. ويعد الحفاظ على نقاء المواد الكيميائية واتساق العمليات ووقت التشغيل والسلامة أمراً بالغ الأهمية لإنتاجية الرقائق وأداء الإنتاج. ومع توسع مرافق التصنيع، يحتاج المشغلون أيضًا إلى حلول تعمل على تحسين الاستفادة من المساحة الأرضية، وتقليل فترات التعطل، ودعم الرقمنة، وتمكين التوسع المستقبلي دون زيادة تعقيد العمليات.
حل Exentec
طورت Exentec أنظمة متكاملة لتوصيل وتوزيع المواد الكيميائية فائقة النقاء تغطي سلسلة التوريد الكيميائية بالكامل، بدءًا من تفريغ البضائع السائبة والمزج ومرورًا بالتوزيع وصولًا إلى التوزيع في نقاط الاستخدام. يتضمن الحل وحدات متطورة لنقل وتوزيع المواد الكيميائية (CTDM)، وأجهزة تحكم آلية، وتكامل نظام SCADA، والتحكم في العمليات ذات الحلقة المغلقة، واستراتيجيات التكرار، وبنى قابلة للتوسع مصممة لبيئات التصنيع ذات الحجم الكبير. كما تدعم تقنية التوأم الرقمي والقدرات المدعومة بالذكاء الاصطناعي عمليات التحسين والصيانة التنبؤية والتحليل التشغيلي.
النتائج
تعمل المنصة المتكاملة على تحسين التحكم في العمليات من خلال الحفاظ على استقرار تركيز المواد الكيميائية والضغط والتدفق والنقاء على طول سلسلة التوريد. تساعد ميزات التكرار والأتمتة المدمجة في زيادة وقت التشغيل في التصنيع، بينما تعزز تقنيات الترشيح وإعادة التدوير المتقدمة جودة المواد الكيميائية واتساقها. تقلل المعالجة الآلية من تدخل المشغل وتحسن أداء السلامة، في حين تساعد البنى القابلة للتوسع والقدرات الرقمية على خفض التكلفة الإجمالية للملكية ودعم نمو التصنيع على المدى الطويل.
تجربة تثبت فعاليتها
- منشأة لتصنيع أنظمة المواد الكيميائية والغازات المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات بمساحة 100,000 قدم مربع
- أكثر من 150 موظفًا يدعمون أنشطة الهندسة والإنتاج والاختبار والبحث والتطوير
- قدرات تصنيع واختبار مخصصة في غرفة نظيفة من الفئة 5
- تحسن بنسبة 29% في الأداء الإجمالي لتوريد NH₄OH، وهو ما تم إثباته من خلال نشر التكنولوجيا المتكاملة