面向智能半导体工厂的高纯度化学系统输送

项目概述

该项目按时交付了所有系统，并支持了德累斯顿新半导体工厂首批洁净室生产设备的按时投产。 通过成功执行其历史上最重要的半导体设备项目之一，Exentec 展现了其交付大规模、快车道项目的能力，同时支持了先进制造运营的成功投产。

面临的挑战

作为对德累斯顿新半导体工厂数十亿欧元投资的一部分，Exentec 的客户要求交付 40 套高纯度化学品系统，用于酸、碱和溶剂的输送。 该项目要求大幅扩充工程、制造和项目资源，以满足紧迫的快轨计划，所有系统必须在 20 个月的交付期限内完成。

Exentec的解决方案

Exentec 为该新工厂完成了 40 条高纯度化学工艺线的工程设计、制造、组装和调试工作。为满足项目进度要求，团队扩大了在德累斯顿当地的生产和项目资源，充分利用了区域制造能力，同时在工程、制造和调试活动之间保持了紧密协调。

成果

该项目是 Exentec 德国公司历史上规模最大的设备项目。项目范围包括交付 40 套高纯度化学处理系统，并在九个月的生产周期内配套制造了 60 个储罐和日用罐、120 个柜体以及 300 个阀门汇流箱（VMB）。 该解决方案还采用了并行运行的离心泵，以提高运行可靠性并保持恒定的系统压力。