Exentec 专注于半导体行业的超高纯度化学品和气体系统。我们的产品组合包括混合和输送设备，可广泛应用于水性化学品和 CMP 浆料。

此外，我们还提供所需的现场支持服务、控制、集成和专业技术知识，以满足严格的半导体工艺控制需求。

我们可靠的系统可提供

  • 先进的计量驱动闭环过程控制
  • 自动化的化学品和浆料质量控制
  • 灵活、可扩展、精确的输送和混合系统
  • 通过混合浓度和压力控制加强过程控制
  • 与 SCADA 无缝集成，提供全面的 I&C 支持
  • 优化占地面积
  • 最长正常运行时间
高纯度化学系统

高纯度化学系统

Exentec 提供设备、现场支持服务和专业技术知识，以满足半导体制造和其他高科技行业对高纯度流体输送、化学混合和最先进的 CMP 浆料系统的各种应用需求。

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化学品卸载

化学品卸载

通过系统和/或组件冗余，将化学品从主储罐持续输送到生产分配罐，最大限度地延长生产正常运行时间。

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化学品配送

化学品配送

我们的化学品配送系统可改善流程、优化占地面积、减少停机时间并延长产品寿命，从而降低总体拥有成本。

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在线混合

在线混合

Exentec 获得专利的按需在线化学品混合和化学品溶液供应技术可根据最终用户或使用点的需求动态改变流量，同时保持精确的混合精度。

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化学世代

化学世代

采用 Exentec 集成的NH4OH现场化学品生成技术，半导体工厂可以显著降低化学品供应的总体成本，提高质量，增强抵御供应链中断的能力，并改善生态可持续性。

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CMP 泥浆混合与输送

CMP 泥浆混合与输送

消除昂贵的劳动密集型离线计量和手动工艺调整。Exentec 已成功开发出板载控制技术，可在混合和分配操作中对客户特定的半导体 CMP 浆料解决方案进行闭环控制。

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洁净室

Exentec 为高科技行业提供整套洁净室技术和洁净室产品

Exentec 为高科技行业提供洁净室交钥匙技术。我们开发、生产和维护洁净室产品以及超洁净可控气氛的生产环境。

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媒体供应

Exentec delivers ultra-high purity media supply systems as part of integrated, end-to-end solutions for critical manufacturing environments. Acting as a single accountable partner, Exentec takes responsibility from engineering and system design through installation, commissioning, and operational readiness.

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废气排放与治理

Exentec 提供集成的排气和末端处理系统，作为针对关键制造环境的端到端解决方案的一部分。我们确保对沉积、刻蚀和扩散工艺产生的工艺排放物进行安全、合规且可靠的捕集和处理。

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安装服务

为高科技客户安装复杂的工艺管道、机械和电气系统

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模块化解决方案

我们的 OSM 和智能模块化产品解决方案为资本设备和工具的安装带来了工艺公用设施，节省了宝贵的时间和费用，同时提高了质量、安全性和可维护性。

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技术设施管理

Exentec 提供的不仅仅是设施运营。我们提供智能、可扩展的解决方案，优先考虑您最关键的成功因素

Exentec 提供的不仅仅是设施运营。我们提供智能、可扩展的解决方案，优先考虑您最关键的成功因素。

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