气体减排 | 产品 │ Exentec

Exentec 是全球主要半导体公司的首选供应商，为沉积、蚀刻和扩散工艺工具提供使用点 (POU) 气体减排解决方案。

我们的系统是目前最高效、最可靠的 Epi 洗涤器。我们将入口装置技术与基于 PLC 的控制箱和自动气体入口柱塞相结合，生产出低维护的 Epi 消减系统。这种性能可提高正常运行时间、工艺稳定性和安全性。我们的系统结合了 2 个喷淋室和 1 个填料柱，是业内效率最高的系统之一。

如需了解我们的气体减排解决方案，请联系我们：+1 408.573.0701

这种业内首创的湿-燃-湿减排系统将两种湿减排技术（湿+燃/湿）结合到一个平台中，可在燃烧器之前高效去除水溶性气体。

Exentec 的旋风式湿法除尘系统是我们的旗舰型号，它包含了所有先进功能，支持与系统相关的加工工具零停机。

我们最新的大容量、高效率湿式除尘系统 Cyclone XL 采用粗喷雾、大流量喷嘴，可覆盖第一洗涤室并去除大量杂质。其战略位置可提高效率、最大限度地减少用水量并消除泡沫。

洁净室

Exentec 为高科技行业提供洁净室交钥匙技术。我们开发、生产和维护洁净室产品以及超洁净可控气氛的生产环境。

媒体供应

Exentec 提供超高纯度介质供应系统，作为面向关键制造环境的集成式端到端解决方案的一部分。作为唯一负责的合作伙伴，Exentec 承担从工程和系统设计到安装、调试及投入运行的全过程责任。

废气排放与治理

Exentec 提供集成的排气和末端处理系统，作为针对关键制造环境的端到端解决方案的一部分。我们确保对沉积、刻蚀和扩散工艺产生的工艺排放物进行安全、合规且可靠的捕集和处理。

安装服务

为高科技客户安装复杂的工艺管道、机械和电气系统

模块化解决方案

我们的 OSM 和智能模块化产品解决方案为资本设备和工具的安装带来了工艺公用设施，节省了宝贵的时间和费用，同时提高了质量、安全性和可维护性。

技术设施管理

Exentec 提供的不仅仅是设施运营。我们提供智能、可扩展的解决方案，优先考虑您最关键的成功因素。