
Airgard 已并入 Exentec。此前由 Airgard 提供的所有产品、合同及客户支持,现均由 Exentec 提供。在本页面中,您将了解有哪些变化、这对您有何益处,以及如何获得所需的支持。
Exentec 排气与净化团队概述
所有原 Airgard 气体净化产品现已转由 Exentec 的排气与净化团队负责。Exentec 设计并制造末端气体净化系统,旨在提供无与伦比的运行时间、低维护成本以及业界领先的持续破坏率效率:
- Cyclone湿式净化系统
- Cyclone XL湿式净化系统
- Encompass湿-燃烧-湿净化系统
进一步了解我们完整的Exentec产品系列。
关于 Airgard
Airgard 曾是半导体行业污染治理设备的领先制造商,专注于设计先进的“用点即洗”洗涤系统,旨在增强晶圆厂安全性、减少停机时间并提升工艺性能。Airgard 成立于 1988 年,开发了创新的半导体洗涤技术,专为满足业内一些要求最严苛的制造环境而设计。 Airgard在半导体污染控制、工艺废气处理及有害气体治理方面的专业技术,帮助制造商保持了可靠、高效且符合规范的运营。
Airgard产品组合的核心是获得专利的“点式”气体洗涤器,其设计旨在最大限度地减少维护需求,并几乎完全消除因洗涤器引发的工艺中断。通过结合专有洗涤技术、自动气体进气柱塞以及定制设计的洗涤器进气口结构,Airgard系统能够针对每种应用的具体要求进行量身定制。 无论是在外延、金属刻蚀、多晶硅刻蚀还是化学气相沉积(CVD)工艺中,Airgard洗涤器都能提供卓越的工艺稳定性、最大限度的设备运行时间以及长期的运行可靠性。
如今,Airgard在半导体废气处理系统、气体洗涤器技术以及高纯度工艺废气处理领域的创新传统,作为Exentec的一部分得以延续,为客户提供更广泛的能力、全球资源以及数十年来久经考验的工程专业知识。
Exentec将带来什么
Airgard 的客户不仅能继续享受此前一贯的市场领先服务,还能通过 Exentec 集团获得更多附加优势。
有哪些新变化?:
- 新品牌:您现在将看到 Exentec 的品牌标识和宣传信息
- 更广泛的服务能力:服务项目、技术及全国覆盖范围均已扩展
- 响应速度提升:优化了服务排程并支持实时服务追踪
- 统一支持:所有产品和服务需求均由单一联系人负责。
哪些方面保持不变?:
- 团队:您所熟悉的核心 Airgard 团队已转入 Exentec
- 您的合同:所有现有合同、协议及联系人信息均保持有效。在适用情况下,我们的法人名称将变更为Exentec,但这不会影响您的当前义务或我们的服务交付
- 服务连续性:正在进行的工作及维护计划均不会中断
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