Levering af kemiske systemer med høj renhed til en intelligent halvlederfabrik

Projektoversigt

Projektet sikrede levering af alle systemer til tiden og understøttede den rettidige idriftsættelse af de første renrums-produktionsværktøjer på et nyt halvlederanlæg i Dresden. Ved at gennemføre et af de mest betydningsfulde halvlederudstyrsprogrammer i sin historie med succes demonstrerede Exentec sin evne til at levere store, hurtigt gennemførte projekter og samtidig understøtte en vellykket opskalering af avancerede produktionsaktiviteter

Udfordringen

Som led i en investering på flere milliarder euro i et nyt halvlederanlæg i Dresden havde Exentecs kunde behov for levering af 40 kemisystemer med høj renhed til distribution af syre, kaustiske stoffer og opløsningsmidler. Projektet krævede en betydelig opskalering af ingeniør-, produktions- og projektressourcerne for at overholde en stram tidsplan, hvor alle systemer skulle leveres inden for en tidsramme på 20 måneder.

Exentecs løsning

Exentec udviklede, konstruerede, monterede og idriftsatte 40 kemiske anlæg med høj renhed til det nye anlæg. For at opfylde tidsplanens krav udvidede teamet de lokale produktions- og projektressourcer i Dresden og udnyttede de regionale produktionskapaciteter, samtidig med at der blev opretholdt et tæt samarbejde på tværs af ingeniør-, fremstillings- og idriftsættelsesaktiviteterne.

Resultaterne

Dette projekt var det største udstyrsprojekt i Exentec Tysklands historie. Omfanget omfattede levering af 40 kemiske systemer med høj renhed, understøttet af fremstillingen af 60 opbevarings- og dagstanke, 120 skabe og 300 ventilmanifoldkasser (VMB'er) inden for en produktionscyklus på ni måneder. Løsningen omfattede desuden parallelt kørende centrifugalpumper for at øge driftssikkerheden og opretholde et konstant systemtryk.