Avanceret forskningsinfrastruktur inden for halvledere

Projektoversigt

Projektet understøttede et af verdens mest avancerede forskningsinitiativer inden for halvledere og omfattede den infrastruktur, der er nødvendig for High-NA EUV-litografiteknologi. Exentec leverede systemer til gasforsyning, kemikaliehåndtering, afløb samt mekanisk procesinfrastruktur i et højt specialiseret renrumsmiljø. Omfattende VDC-planlægning og gennemførbarhedsanalyser muliggjorde en vellykket gennemførelse på et komplekst, aktivt forskningscampus, der var under betydelig udvidelse.

Udfordringen

En førende halvlederforskningsorganisation havde behov for installation af højt specialiseret procesforsynings- og mekanisk infrastruktur til understøttelse af et næste generations halvlederforskningsanlæg. Projektet krævede integration af komplekse systemer til bulkgas, kemikalier, afløb og procesforsyning inden for et aktivt forskningscampus, samtidig med at den løbende drift skulle opretholdes, og der skulle koordineres med flere interessenter, entreprenører og samtidige udvidelsesprojekter.

Exentecs løsning

Exentec anvendte avanceret virtuel design og konstruktion (VDC), koordinering med interessenterne samt specialiseret ekspertise inden for halvledere til at gennemføre projektets mekaniske procesdel. Teamet arbejdede i et halvlederforskningsmiljø, der var i drift, og koordinerede tæt med projektledelsen og flere fagfolk for at installere de mekaniske proces-, gas-, kemikalie- og forsyningssystemer sikkert og effektivt, samtidig med at de krævende tekniske krav og tidsplaner blev overholdt.

Resultaterne

Exentec leverede med succes kritisk infrastruktur til understøttelse af avanceret halvlederforskning og næste generations litografikapaciteter. Gennem detaljeret planlægning, teknisk ekspertise og tværfaglig koordinering sikrede projektet overensstemmelse med anlægs kravene, samtidig med at det understøttede et af de vigtigste innovationsprogrammer inden for halvledere i USA. Den færdiggjorte infrastruktur danner grundlaget for fremtidig udvikling af halvlederprocesser og forskningsaktiviteter.