Exentec 的 Liquide Delivery System 是一套獨立系統，包括具有自動交叉功能的備援面板，可增加正常運行時間 > 99.9%。佔地面積小、製程容量大，可透過推送氣體分配液態化學品。在日槽式系統上，液位具有線性指示，可進行一致的液位監控。高精度刻度選項可提供每次運行克數，以實現嚴格的製程控制。PLC 元件與我們的氣體櫃和 VMB 控制器系列一致，可將備件庫存降到最低。LDS 為全自動系統，可提供最高的安全操作與效能。

功能與優點

• 以 PLC 為基礎的控制，配備觸控螢幕介面，操作可靠
• 完整的啟動、罐子和管線清洗程序，具有經證實的安全性能
• 可調式置物架，適用於最大 20 公升的不同罐選項
• 半兼容系統和控制器
• 用於系統確定、要求化學品和/或清洗的工具介面
• 典型的系統製程應用，包括生命安全警報監控
• BPSG：TEOS、TEB、TEPO
• 高介電質4ms、DMPS、DMDMOS、TMCTS
• 低 K 電介質：TDMAS, TMA
  
  

產品選項

• 推入式氣體調節，提供一致的輸送壓力
• 具工具介面的多種出口配置
• 真空泵
• 除氣裝置
• 高流量系統
• 日用儲氣罐，可在更換氣罐時繼續進行製程
• 日用槽中的線性液位傳感器可實時顯示液位
• 自動交叉系統可提供系統冗餘並增加正常運行時間
• 高精度秤，提供每運行克重的資訊
• 自動從散裝供料罐補充料筒
• 控制器備援電源供應器、電磁閥或 PLC
• PLC 保持最後狀態 觸控螢幕顯示
• 10.4 吋全彩顯示器，能見度高
• 提供整個面板的圖形顯示
• 顯示正常操作、清洗和手動模式時的閥門狀態
  
  

機櫃結構

• 採用 11 號冷軋鋼、耐腐蝕性極佳的聚酯粉末塗層，以及全焊接的內外殼，提供優異的濾罐密封性。
• 機櫃百葉窗可消除死角或蒸汽困擾區域
• 機門 - 外殼墊片和可靠的鉸鏈，可提供多年的無故障服務
• 排氣感應器 - 可根據需要啟動化學品停機或提供非停機聲音警報或遠程警報警告
• 生命安全繼電器邏輯，可透過繼電器回饋，在火災、洩漏、有毒和設施關閉時超越 PLC
• 火災感應器、ROR 或 UV/IR、噴灑頭
• 110% 濾毒罐防洩漏
  
  

觸控螢幕顯示

• 10.4 吋全彩顯示器，能見度高
• 提供整個面板的圖形顯示
• 在正常操作、清洗和手動模式下顯示閥門狀態