液化原液输送系统

液化原液输送系统
Exentec 的 Liquide(前驱体)输送系统是一种化学品输送系统,旨在最大限度地提高效率和性能
Exentec 的 Liquide 输送系统是一种独立系统,包括具有自动交叉功能的冗余面板,正常运行时间大于 99.9%。该系统占地面积小,处理能力大,设计用于通过推动气体分配液体化学品。在日槽式系统中,液位具有线性指示,可实现一致的液位监控。高精度刻度选项可提供每运行克数,以实现严格的过程控制。PLC 组件与我们的气柜和 VMB 控制器系列一致,可最大限度地减少备件库存。LDS 是一种全自动系统,可最大限度地保证安全操作和性能。
特点和优势
- 基于 PLC 的控制,带触摸屏界面,操作可靠
- 完整的启动、滤筒和管线吹扫程序,安全性能可靠
- 可调式料筒架,适用于最大 20 升的不同料筒选项
- 半兼容系统和控制器
- 用于系统确定、化学要求和/或清洗的工具界面
- 典型的系统工艺应用,包括生命安全警报监控
- BPSG:TEOS、TEB、TEPO
- 高介电系数4MS、DMPS、DMDMOS、TMCTS
- 低 k 电介质TDMAS, TMA
产品选项
- 按压式气体调节,实现稳定的输送压力
- 带工具接口的多种出口配置
- 真空泵
- 除气装置
- 高流量系统
- 日用气罐,可在更换气罐时继续加工
- 日用气罐中的线性液位传感器可实时显示液位
- 自动交叉系统,用于系统冗余和增加正常运行时间
- 高精度秤,可提供每运行克数信息
- 从散装供料罐自动加料
- 控制器冗余电源、电磁阀或 PLC
- PLC 保持最后状态 触摸屏显示
- 10.4 英寸全彩显示屏,清晰可见
- 提供整个面板的图形显示
- 显示正常运行、清洗和手动模式下的阀门状态
机柜结构
- 采用 11 号冷轧钢、聚酯粉末涂层和全焊接内罩,具有卓越的耐腐蚀性能,可封闭滤毒罐
- 箱体百叶窗消除了死角或蒸汽滞留区域
- 箱门--箱体密封垫和可靠的铰链可确保多年无故障运行
- 排气传感器 - 警报器可根据需要启动化学关闭或通过非关闭声音警报或远程警报提供警告
- 生命安全继电器逻辑可覆盖 PLC,用于火灾、泄漏、有毒物质和设施的关闭,并提供继电器反馈
- 火灾传感器、ROR 或 UV/IR、喷淋头
- 110% 滤毒罐防漏
触摸屏显示
- 10.4 英寸全彩显示屏,清晰可见
- 提供整个面板的图形显示
- 显示正常运行、清洗和手动模式下的阀门状态