CELERA handmatige vochtige bank

Met een open procesruimte die de dekbladconfiguratie van grotere natte werktafels weerspiegelt en een geïntegreerde laminaire luchtstroom, minimaliseert het CELERA-systeem de contaminatie van deeltjes en rook, waardoor het ideaal is voor onderzoek, ontwikkeling en pilot-lijnomgevingen.

Belangrijkste voordelen

• Modulair ontwerp - Volledig aanpasbare tanklayouts en materiaalconfiguraties
• Controle op vervuiling - laminaire luchtstroom over het dekblad voor een schone procesomgeving
• Efficiëntie op laboratoriumschaal - handmatige en halfautomatische opties verminderen de downtime en verbeteren de doorvoer
• Flexibele substraatondersteuning - van 100mm tot 300mm wafers en aangepaste substraten

CELERA® werktafels zijn de ideale handmatige of semiautomatische oplossing voor natte verwerking voor O&O op het gebied van halfgeleiders, materiaalwetenschappen en andere schone toepassingen - prestaties, flexibiliteit en veiligheid in één compact systeem.

Het systeem in één oogopslag - Uitgelichte kenmerken

• 100mm tot 300mm wafers plus aangepaste substraten
• Toepassingen voor oppervlaktevoorbereiding en plating
• Voor- en achtertoegang configuratieopties
• Ondersteunt elke chemische stof of substraatgrootte
• Polypropyleen, PVC - FM4910 of roestvrij staal
• Semi-automatisch - front-to-back robots of mechanische agitatie
• Badrecirculatie/filtratie - processen op hoge temperatuur en in de omgeving
• Megasonic/Ultrasone tanks - Verwijdering van deeltjes en dikke resten
• Spijken in bad - Waterstofperoxide, D.I. water en extra toevoegingen
• Besturing met microprocessor of PLC met HMI-touchscreen
• Wielen met stelpoten

Opties

• FM 4910 goedgekeurde bouwmaterialen
• Aangepaste afvoerkanalen en accessoires voor het hanteren van chemicaliën (flacons, flessen, enz.)
• FM-gekeurd C2 branddetectie- en blussysteem
• SEMI- en CE-markering of andere NRTL-tests en certificering door derden
• HEPA/ULPA-luchtfiltratie