Onze tools integreren proceshardware, geavanceerde besturingssoftware en geautomatiseerde robotica om oplossingen op maat te leveren, van handmatige werktafels voor enkelvoudige processen tot volledig geautomatiseerde waferhandlingsystemen. We kunnen substraatdragers en eindeffectoren aanpassen aan unieke verwerkingsvereisten.

We ondersteunen een breed scala aan substraten en materialen:

Wafers (100mm - 300mm)
III-V halfgeleidermaterialen
Fotomask
Glazen en kwartsinrichtingen
Aangepaste verdeelstukken en speciale dragers

Onze ingenieurs kunnen ook aangepaste eindeffectors en substraatdragers ontwerpen om te voldoen aan uw specifieke proces- en behandelingsbehoeften.

Reinigen, weerstandstrips, etsen, ontwikkelen, metaal verwijderen, IPA-herstel en drogen
Bruikbaar voor zuur-, base- en solventtoepassingen
Badafmetingen voor één of meerdere cassettes
Configureerbare en schaalbare procesapparatuur.

Ons team heeft ervaring met een breed scala aan toepassingen, waaronder FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch en E-less Deposition. We hebben ook standaard badindelingen voor natte processen beschikbaar voor vele toepassingen, zoals:

Nat etsen - Silicium (KOH) etsen, nitride etsen, gebufferde oxide etsen, fotoresistestrook en goud/platina etsen.
Metaal verwijderen - NMP- en DMSO-configuraties
Wafer clean - Ondersteuning voor HF-, Piranha-, SC1- en SC2-baden.

Onze procesgereedschappen kunnen worden geconfigureerd met een complete reeks ondersteuningssystemen om automatisering, veiligheid en chemicaliënbeheer te verbeteren:

Systemen voor chemische verwerking
Chemicaliënkarren voor afgifte, verwijdering en opslag
Flessen aan boord voor afvalverzameling
Liftstations voor afvalneutralisatie
Hardware voor procesoptimalisatie
Temperatuurgeregelde circulatiepompen (WHRV)
Verwarming: tot 5115 BTU/uur
Koeling: tot 2550 BTU/uur
Recirculatiebaden voor consistente temperatuur en debiet
Kwartsbaden voor chemische weerstand
Snelkiepspoelers (QDR)
Modi voor onderdompeling, cascade en sproeien

Onze oppervlaktevoorbereidingssystemen zijn schaalbaar en klaar voor integratie in cleanrooms, R&D labs en hoog-volume fabs. Of u nu werkt met standaardsubstraten of unieke materialen, ons team kan een procesklaar platform leveren dat is afgestemd op uw behoeften.