Liquide systemen voor precursortoediening
Liquide systemen voor precursortoediening
Exentec's Liquide (precursor) Delivery System is een chemisch distributiesysteem ontworpen om efficiëntie en prestaties te maximaliseren.
Exentec's Liquide Delivery System is een stand-alone systeem dat redundante panelen bevat met auto-crossover mogelijkheid voor een verhoogde uptime > 99,9%. De kleine voetafdruk met grote procescapaciteit is ontworpen om vloeibare chemicaliën te distribueren via een duwgas. Op dagtanksystemen heeft het vloeistofniveau een lineaire indicatie voor consistente niveaubewaking. Nauwkeurige schaalopties bieden grammen per run voor een strakke procesbesturing. PLC-componenten zijn consistent met onze reeks gaskasten en VMB-controllers om de voorraad reserveonderdelen tot een minimum te beperken. De LDS is een volledig automatisch systeem voor maximale veiligheid en prestaties.
Kenmerken en voordelen
- PLC-gebaseerde besturing met touch-screen interface voor betrouwbare bediening
- Complete opstart-, opvangbeker- en leidingspoelroutines met bewezen veilige prestaties
- Verstelbaar plateau voor verschillende jerrycans tot 20 liter
- Semi-conform systeem en controller
- Toolinterface voor Systeem OK, Chemie opvragen en/of Spoelen
- Typische systeemprocestoepassingen, inclusief alarmbewaking voor levensbeveiliging
- BPSG: TEOS, TEB, TEPO
- Hoge-k diëlektrica: 4MS, DMPS, DMDMOS, TMCTS
- Laag-k diëlektrica: TDMAS, TMA
Productopties
- Drukgasregeling voor consistente toevoerdruk
- Meerdere uitlaatconfiguraties met gereedschapinterface
- Vacuümpomp
- Ontgaseenheden
- Systemen met hoge stroming
- Dagtank voor continu proces tijdens het verwisselen van de opvangbeker
- Lineaire niveausensor in dagtank voor real-time niveau-indicatie
- Auto-crossover-systemen voor systeemredundantie en verhoogde uptime
- Zeer nauwkeurige weegschalen voor informatie over grammen per run
- Automatisch bijvullen van canisters met bulktoevoer
- Besturingsondersteunde voedingen, magneetventielen of PLC
- PLC houdt laatste status vast Touch-Screen Display
- 10,4" kleurenscherm voor goede afleesbaarheid
- Biedt een grafische weergave van het hele paneel
- Toont de klepstatus tijdens normaal bedrijf, spoelen en handmatige modus
Kastconstructie
- Superieure constructie met 11-gauge koudgewalst staal, een polyester poedercoating voor superieure corrosiebestendigheid en een volledig gelaste binnenbehuizing voor opvangbussen
- De louvres in de kast elimineren dode of ingesloten dampgebieden
- Deuren - Pakking en betrouwbare scharnieren voor jarenlang probleemloos gebruik
- Uitlaatgassensor - Alarm kan chemische uitschakeling initiëren of indien nodig een waarschuwing geven met een akoestisch alarm of alarm op afstand zonder uitschakeling
- Logica voor levensveiligheidsrelais om PLC te overbruggen voor brand-, lek-, toxische en faciliteitsuitschakelingen met relaisfeedback
- Brandsensor, ROR of UV/IR, sprinklerkoppen
- 110% lekinsluiting
Touchscreen display
- 10,4" kleurenscherm voor goede zichtbaarheid
- Biedt een grafische weergave van het hele paneel
- Toont de klepstatus tijdens normale werking, doorblazen en handmatige modi
Bulkgassystemen met hoge zuiverheid
Wij bieden onze klanten een betrouwbare bron van hoogwaardige apparatuur voor gassystemen en een breed scala aan producten en diensten.
Systemen voor hoogzuiver gas
We maken gebruik van onze bouwcapaciteit en programmeerexpertise om baanbrekende spec gasleveringssystemen te ontwikkelen.
Gaskasten
Een breed scala aan kasten, regelaars en panelen kan worden geconfigureerd tot een systeem dat aan uw behoeften voldoet.
Gasmengsystemen
De Exentec Gas Blender is een gasmengsysteem met gesloten regelkring, gecombineerd met een ingebouwde analyser.
Ventielverdeelkasten
De Exentec Valve Manifold Box (VMB) biedt veilige en betrouwbare distributiepunten voor een gassysteem.
Klepspruitstukpanelen
Het team van Exentec voor de levering van hoogzuivere media heeft uitgebreide ervaring met de productie en installatie van hoogzuivere gaspanelen en apparatuur.
Speciale bulkgassystemen
Het BSGS (Bulk Specialty Gas System) is een geavanceerd distributiesysteem dat is ontworpen voor een veilige, automatische levering van speciale gassen in bulk.
Liquide systemen voor precursortoediening
Exentec's Liquide (precursor) Delivery System is een chemisch distributiesysteem ontworpen om efficiëntie en prestaties te maximaliseren.
Regelaars voor gastoevoersystemen
De beschikbare opties voor onze reeks controllers worden steeds specifieker naarmate de behoeften en eisen van de eindgebruiker veranderen.
Dampafgiftesysteem
Exentec's Vapor Delivery System is een chemisch dampdistributiesysteem ontworpen om efficiëntie en prestaties te maximaliseren.
Aangepaste gastoevoercontainer
Exentecs complete oplossingen in de technische/veiligheidscontainer zijn ideaal voor een variabele en flexibele gastoevoer.
Installaties en machineaansluitingen
We ondersteunen u graag als competente partner voor installaties en aansluitingen van productiemachines op uw productie- of onderzoekslocatie.