Unsere Werkzeuge integrieren Prozesshardware, fortschrittliche Steuerungssoftware und automatisierte Robotertechnik, um kundenspezifische Lösungen von manuellen Einzelprozessbänken bis hin zu vollautomatischen Wafer-Handling-Systemen zu liefern.Wir können Substratträger und Endeffektoren an spezielle Verarbeitungsanforderungen anpassen.

Wir unterstützen eine breite Palette von Substraten und Materialien:

Wafer (100mm - 300mm)
III-V-Halbleitermaterialien
Fotomasken
Glas- und Quarzbefestigungen
Kundenspezifische Manifolds und Spezialträger

Unsere Ingenieure können auch kundenspezifische Endeffektoren und Substratträger entwerfen, um Ihre spezifischen Prozess- und Handhabungsanforderungen zu erfüllen.

Reinigung, Resiststreifen, Ätzen, Entwicklung, Metallabhebung, IPA-Rückgewinnung und Trocknung
Verwendbar für Säure-, Basen- und Lösungsmittelanwendungen
Badgrößen für eine oder mehrere Kassetten
Konfigurierbare und skalierbare Prozessausrüstung.

Unser Team hat Erfahrung mit einem breiten Spektrum von Anwendungen, darunter FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch und E-less Deposition. Wir verfügen auch über Standard-Nassprozessbad-Layouts für viele Anwendungen wie z. B.:

Nassätzen - Ätzen von Silizium (KOH), Nitrid, gepuffertem Oxid, Photoresiststreifen und Gold/Platin.
Metallabhebung - NMP- und DMSO-Konfigurationen
Waferreinigung - Unterstützung für HF-, Piranha-, SC1- und SC2-Bäder

Unsere Prozess-Tools können mit einer ganzen Reihe von Unterstützungssystemen konfiguriert werden, um die Automatisierung, die Sicherheit und das Chemikalienmanagement zu verbessern:

Chemikalien-Handhabungssysteme
Chemikalienwagen für Dosierung, Entnahme und Lagerung
Onboard-Carboys für die Abfallsammlung
Hebestationen für die Abfallneutralisierung
Hardware zur Prozessoptimierung
Temperaturgesteuerte Umwälzpumpen (WHRV)
Heizung: bis zu 5115 BTU/Std.
Kühlen: bis zu 2550 BTU/Std.
Umwälzbäder für konstante Temperatur und Durchfluss
Quarzbehälter für chemische Beständigkeit
Schnellablass-Spüler (QDR)
Eintauch-, Kaskaden- und Sprühmodi

Unsere Oberflächenvorbereitungssysteme sind skalierbar und für die Integration in Reinräume, F&E-Labore und hochvolumige Produktionsstätten geeignet. Ganz gleich, ob Sie mit Standardsubstraten oder einzigartigen Materialien arbeiten, unser Team kann Ihnen eine auf Ihre Bedürfnisse zugeschnittene prozessfertige Plattform liefern.