Das Liquide Delivery System von Exentec ist ein eigenständiges System, das redundante Panels mit Auto-Crossover-Fähigkeit für eine erhöhte Betriebszeit > 99,9 % umfasst. Die kleine Stellfläche mit großer Prozesskapazität ist für die Verteilung von flüssigen Chemikalien über ein Druckgas ausgelegt. Bei Systemen mit Tagestank verfügt der Flüssigkeitsstand über eine lineare Anzeige für eine konsistente Füllstandsüberwachung. Hochpräzise Skalenoptionen bieten Gramm pro Durchlauf für eine genaue Prozesskontrolle. Die SPS-Komponenten sind mit unseren Gasschränken und VMB-Steuerungen kompatibel, um die Ersatzteilhaltung zu minimieren. Das LDS ist ein vollautomatisches System für maximale Betriebssicherheit und Leistung.

Merkmale und Vorteile

• SPS-basierte Steuerung mit Touchscreen-Schnittstelle für zuverlässigen Betrieb
• Vollständige Start-, Kanister- und Leitungsspülroutinen mit bewährter sicherer Leistung
• Verstellbare Ablage für verschiedene Kanisteroptionen bis zu 20 Liter
• Semi-kompatibles System und Controller
• Tool-Schnittstelle für System OK, Request Chem und/oder Purge
• Typische Systemprozessanwendungen, einschließlich Überwachung von Sicherheitsalarmen
• BPSG: TEOS, TEB, TEPO
• Hoch-k Dielektrika: 4MS, DMPS, DMDMOS, TMCTS
• Niedrig-k-Dielektrika: TDMAS, TMA
  
  

Produkt-Optionen

• Push-Gasregulierung für konstanten Förderdruck
• Mehrere Auslasskonfigurationen mit Werkzeugschnittstelle
• Vakuumpumpe
• Entgasungseinheiten
• Systeme mit hohem Durchfluss
• Tagestank für kontinuierlichen Prozess während des Kanisterwechsels
• Linearer Füllstandsensor im Tagestank für Echtzeit-Füllstandsanzeige
• Auto-Crossover-Systeme für Systemredundanz und erhöhte Betriebszeit
• Hochpräzise Waagen für Gramm-pro-Lauf-Informationen
• Automatisches Nachfüllen von Kanistern aus dem Vorratstank
• Controller-redundante Stromversorgungen, Magnetventile oder PLC
• PLC speichert letzten Zustand Touchscreen-Display
• 10,4-Zoll-Farbdisplay für gute Sichtbarkeit
• Bietet eine grafische Anzeige des gesamten Panels
• Zeigt den Ventilstatus bei Normalbetrieb, Spülung und manuellem Betrieb an
  
  

Konstruktion des Gehäuses

• Hochwertige Konstruktion aus kaltgewalztem 11-Gauge-Stahl, Polyester-Pulverbeschichtung für hervorragende Korrosionsbeständigkeit und ein komplett geschweißtes Innengehäuse für den Kanistereinschluss
• Lüftungsschlitze im Gehäuse verhindern tote Bereiche oder eingeschlossene Dämpfe
• Türen - Gehäusedichtung und zuverlässige Scharniere für jahrelangen störungsfreien Betrieb
• Abgassensor - Der Alarm kann eine chemische Abschaltung einleiten oder eine Warnung mit einem akustischen Alarm ohne Abschaltung oder einem Fernalarm auslösen, je nach Bedarf
• Sicherheitsrelaislogik zur Übersteuerung der SPS für Feuer-, Leck-, Gift- und Anlagenabschaltungen mit Relaisrückmeldung
• Brandsensor, ROR oder UV/IR, Sprinklerköpfe
• 110%iger Einschluss von Kanisterlecks
  
  

Touchscreen-Anzeige

• 10,4-Zoll-Farbdisplay für gute Sichtbarkeit
• Bietet eine grafische Anzeige des gesamten Panels
• Zeigt den Ventilstatus bei Normalbetrieb, Spülung und manuellem Betrieb an