Vores værktøjer integrerer proceshardware, avanceret kontrolsoftware og automatiseret robotteknologi for at levere tilpassede løsninger fra manuelle enkeltprocesbænke til fuldautomatiske waferhåndteringssystemer. Vi kan tilpasse substratbærere og endeffektorer til at imødekomme unikke behandlingskrav.

Vi understøtter en bred vifte af substrater og materialer:

Wafere (100 mm - 300 mm)
III-V halvledermaterialer
Fotomasker
Inventar af glas og kvarts
Brugerdefinerede manifolds og specialbærere

Vores ingeniører kan også designe brugerdefinerede endeeffektorer og substratbærere til at opfylde dine specifikke proces- og håndteringsbehov.

Rengøring, resist strips, ætsning, udvikling, metal lift-off, IPA recovery og tørring
Kan bruges til syre-, base- og opløsningsmiddelapplikationer
Badstørrelser til en eller flere kassetter
Konfigurerbart og skalerbart procesudstyr.

Vores team har erfaring med en bred vifte af anvendelsesbehov, herunder arbejde med FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch og E-less Deposition. Vi har også standardlayouts til vådprocesbade til rådighed til mange anvendelser, f.eks:

Vådætsning - Siliciumætsning (KOH), nitridætsning, bufret oxidætsning, fotoresiststrimmel og guld/platinætsning.
Metal Lift-Off - NMP- og DMSO-konfigurationer
Wafer Clean - støtte til HF-, Piranha-, SC1- og SC2-bade

Vores procesværktøjer kan konfigureres med et komplet udvalg af støttesystemer for at forbedre automatisering, sikkerhed og kemikaliehåndtering:

Systemer til håndtering af kemikalier
Kemikalievogne til dispensering, fjernelse og opbevaring
Indbyggede kar til opsamling af affald
Løftestationer til neutralisering af affald
Hardware til procesoptimering
Temperaturregulerede cirkulationspumper (WHRV)
Opvarmning: op til 5115 BTU/time
Køling: op til 2550 BTU/time
Recirkulerende bade for ensartet temperatur og flow
Kvartstanke til kemisk modstandsdygtighed
Skyllere med hurtig tømning (QDR)
Nedsænknings-, kaskade- og sprøjtetilstande

Vores overfladebehandlingssystemer er skalerbare og klar til at blive integreret i renrum, R&D-laboratorier og højvolumenfabrikker. Uanset om du arbejder med standardsubstrater eller unikke materialer, kan vores team levere en procesklar platform, der er skræddersyet til dine behov.