Ruční mokrý stolek CELERA

Díky otevřenému procesnímu prostoru, který kopíruje uspořádání desek větších mokrých stolů, a integrovanému laminárnímu proudění vzduchu systém CELERA minimalizuje kontaminaci částicemi a kouřem, takže je ideální pro výzkum, vývoj a prostředí pilotních linek.

Klíčové výhody

• Modulární konstrukce - plně přizpůsobitelné uspořádání nádrží a konfigurace materiálů
• Kontrola kontaminace - Laminární proudění vzduchu nad dekou pro čisté procesní prostředí.
• Efektivita v laboratorním měřítku - Manuální a poloautomatické možnosti zkracují prostoje a zvyšují výkonnost.
• Flexibilní podpora substrátů - Od 100mm do 300mm destiček a vlastní substráty

Stoly CELERA® jsou ideálním manuálním nebo poloautomatickým řešením mokrého zpracování pro výzkum a vývoj polovodičů, vědu o materiálech a další kriticky čisté aplikace - vyvažují výkon, flexibilitu a bezpečnost v jednom kompaktním systému.

Přehled systému - Nejdůležitější funkce

• 100mm až 300mm destičky a vlastní substráty
• Aplikace pro přípravu povrchu a pokovování
• Možnosti konfigurace s přístupem zepředu a zezadu
• Podpora jakýchkoli chemických látek nebo velikosti substrátu
• Polypropylen, PVC - FM4910 nebo nerezová ocel
• Poloautomatické - roboty zepředu dozadu nebo mechanické míchání
• Recirkulace lázně / filtrace - procesy při vysokých teplotách a okolním prostředí
• Megazvukové/ultrazvukové nádrže - odstraňování částic a hustých zbytků
• Vypouštění vody z lázně - peroxid vodíku, voda s vodním roztokem a další aditiva
• Mikroprocesorové řízení nebo řízení na bázi PLC s dotykovou obrazovkou HMI
• Kolečka s nastavovacími nohami

Možnosti

• Stavební materiály schválené podle FM 4910
• Vlastní odtoky a příslušenství pro manipulaci s chemikáliemi (karboxy, lahve atd.)
• Systém detekce a hašení požáru C2 testovaný podle FM
• Testování a certifikace SEMI a CE Mark nebo jiné třetí strany NRTL
• Filtrace vzduchu HEPA/ULPA