Automatizovaná mokrá lavice Aeris

Bezkonkurenční výkon pro vyvíjející se potřeby výzkumu a vývoje

Ať už vyvíjíte novou generaci uzlů nebo dolaďujete receptury leptání a čištění, automatizovaná mokrá stolice Aeris® je navržena tak, aby držela krok s inovacemi. Tento mokrý stůl nabízí vše od čištění substrátu až po leptání kyselinami a zásadami. Aplikace:

• Vývoj procesů
• Hodnocení materiálů
• Příprava povrchu
• Čištění po leptání

Dostupné konfigurace zahrnují plně uzavřené, poloautomatické a přizpůsobitelné stopy, které vyhovují uspořádání a pracovním postupům vaší laboratoře.

Řídicí rozhraní systému na bázi počítače umožňuje nepřetržité sledování postupu destiček různými procesními lázněmi. To zase maximalizuje celkovou propustnost destiček sledováním časů komplementace jednotlivých procesů a automatickou přepravou destiček postupnými lázněmi. Každá šarže plátků je identifikována identifikačním kódem šarže a procesní receptury jsou automaticky stahovány do procesoru prostřednictvím vestavěného řídicího systému na bázi počítače se systémem Windows. Databázi a monitorovací systém lze připojit k podnikovým systémům prostřednictvím rozhraní SECS II pro monitorování a zaznamenávání dat v reálném čase.

Automatizované mokré lavice Aeris®: Pro dvě nebo více procesních lázní

Automatizované mokré lavice Aeris jsou určeny pro procesy se dvěma nebo více procesními vanami. Přenosový systém lze nastavit buď jako lineární konfiguraci zepředu dozadu nebo zleva doprava, nebo jako tříosý systém umožňující složitější přenos mezi lázněmi na menším prostoru. Přenosové systémy jsou navrženy tak, aby mohly pojmout jednu nebo dvě kazety s destičkami o průměru až 200 mm nebo jednu kazetu s destičkami o průměru 300 mm. Řídicí systém zahrnuje PLC a barevné dotykové rozhraní (HMI). PLC má víceúrovňovou ochranu heslem a může ukládat více procesních receptur, zatímco HMI má několik obrazovek pro údržbu, nastavení receptury, nastavení nádrže, provoz a stav alarmu.

Přehled systému: zvýrazněné funkce

• Flexibilní konfigurace podporující jakoukoli mokrou chemickou aplikaci
• Podporuje zpracování v jedné vrstvě i dávkové zpracování
• 100mm až 300mm destičky a vlastní substráty
• Lineární nebo víceosé konfigurace robotů
• Vícenásobné konfigurace nakládání/vykládání
• Možnosti otevřeného nebo plně uzavřeného prostředí
• Recirkulace vany / filtrace
• Vyhřívané, chlazené nebo okolní aplikace
• Megazvukové a/nebo ultrazvukové nádrže
• Možnosti chemického monitorování / metrologie
• Koncentrace, vodivost, pH, teplota, počet částic atd.
• Hromadná distribuce nebo dávkování na palubě
• Rozprašování v lázni - peroxid vodíku, voda s vodním roztokem a další aditiva
• Sušení s gradientem povrchového napětí
• Řízení miSCADA - integruje PLC, Modbus, servery OPC/OPC UA, MQTT a SECS/GEM.

Možnosti

• Stavební materiály schválené podle FM 4910.
• Systém detekce a potlačení požáru CO2 schválený FM
• Označení SEMI a CE nebo jiné testování a certifikace třetí stranou NRTL.
• Filtrace vzduchu HEPA/ULPA
• Osvětlovací zařízení
• Počítač s operačním systémem Windows s možností připojení k síti
• K dispozici software typu SECS/GEM nebo software pro správu majetku