Systémy dodávání prekurzorů Liquide

Systémy dodávání prekurzorů Liquide
Systém Liquide (prekurzor) společnosti Exentec je systém distribuce chemikálií navržený pro maximalizaci účinnosti a výkonu.
Systém Liquide Delivery System společnosti Exentec je samostatný systém, který obsahuje redundantní panely s funkcí automatického křížení pro zvýšení provozuschopnosti > 99,9 %. Malý půdorys s velkou procesní kapacitou je určen k distribuci kapalných chemických látek prostřednictvím tlačného plynu. U systémů typu denní nádrž má hladina kapaliny lineární indikaci pro konzistentní sledování hladiny. Vysoce přesné možnosti stupnice nabízejí gramy na běh pro přísnou kontrolu procesu. Komponenty PLC jsou v souladu s naší řadou plynových skříní a regulátorů VMB, aby se minimalizovaly zásoby náhradních dílů. LDS je plně automatický systém pro maximálně bezpečný provoz a výkon.
Vlastnosti a výhody
- Řízení na bázi PLC s rozhraním dotykové obrazovky pro spolehlivý provoz
- Kompletní rutiny spouštění, čištění kanystrů a proplachování potrubí s ověřeným bezpečným výkonem
- Nastavitelná police pro různé varianty kanystrů až do objemu 20 litrů
- Polokompatibilní systém a řídicí jednotka
- Rozhraní nástroje pro systém OK, požadavek na chemickou úpravu a/nebo pročištění
- Typické procesní aplikace systémů, včetně monitorování alarmu bezpečnosti života
- BPSG: TEOS, TEB, TEPO
- Dielektrika s vysokým k: 4MS, DMPS, DMDMOS, TMCTS
- Dielektrika s nízkým k: TDMAS, TMA
Možnosti produktu
- Regulace tlaku plynu pro konstantní dodávaný tlak
- Více konfigurací výstupu s rozhraním pro nástroje
- Vakuové čerpadlo
- Odplyňovací jednotky
- Systémy s vysokým průtokem
- Denní nádrž pro pokračování procesu během výměny kanystru
- Lineární snímač hladiny v denní nádrži pro indikaci hladiny v reálném čase
- Systémy automatického křížení pro redundanci systému a zvýšení doby provozuschopnosti
- Vysoce přesné váhy pro informace o počtu gramů za minutu
- Automatické doplňování kanystrů z velkoobjemových zásobních kanystrů
- Napájecí zdroje s redundancí řídicí jednotky, elektromagnetické ventily nebo PLC
- PLC udržuje poslední stav Dotykový displej
- 10,4" plnobarevný displej pro dobrou viditelnost
- Poskytuje grafické zobrazení celého panelu
- Zobrazuje stav ventilu při běžném provozu, proplachování a manuálních režimech
Konstrukce skříně
- Špičková konstrukce s použitím oceli válcované za studena o tloušťce 11 mm, polyesterového práškového nátěru pro vynikající odolnost proti korozi a celosvařovaného vnitřního krytu pro uzavření kanystru.
- Žaluzie ve skříni eliminují mrtvé nebo zachycené oblasti výparů
- Dveře - těsnění skříně a spolehlivé závěsy pro dlouholetý bezproblémový provoz
- Senzor výfuku - Alarm může iniciovat chemické vypnutí nebo nabídnout varování pomocí zvukového alarmu bez vypnutí nebo vzdáleného alarmu podle potřeby.
- Logika bezpečnostního relé pro ovládání PLC při požáru, úniku, toxických látkách a vypnutí zařízení se zpětnou vazbou relé
- Požární čidlo, ROR nebo UV/IR, sprinklerové hlavice
- 110% ochrana proti úniku z kanystru
Dotykový displej
- 10,4" plnobarevný displej pro dobrou viditelnost
- Poskytuje grafické zobrazení celého panelu
- Zobrazuje stav ventilu při běžném provozu, proplachování a manuálních režimech